Abstract

A linear zone plate named multilayer laue lens (MLL) is fabricated using a depth-graded multilayer structure. The lens shows considerable potential in focusing an X-ray beam into a nanometer scale with high efficiency. In this letter, a depth-graded multilayer consisting of 324 alternating WSi<sub>2</sub> and Si layers with a total thickness of 7.9 µm is deposited based on the thickness sequence according to the demands of the zone plate law. Subsequently, the multilayer sample is sliced and thinned to an ideal depth along the cross-section direction using raw abrasives and diamond lapping. Finally, the cross-section is polished by a chemical mechanical polishing (CMP) technique to remove the damages and improve the surface smoothness. The final depth of the MLL is approximately 7 µm with an achieved aspect ratio greater than 400. Results of scanning electron microscopy (SEM) and atomic force microscopy (AFM) indicate that interfaces are sharp, and the multilayer structure remains undamaged after the thinning and polishing processes. The surface roughness achieved is 0.33 nm.

© 2012 Chinese Optics Letters

PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. W. Liu, G. E. Ice, J. Z. Tischler, A. Khounsary, C. Liu, L. Assoufid, and A. T. Macrander, Rev. Sci. Instrum. 76, 113701 (2005).
  2. C. G. Schroer, O. Kurapova, J. Patommel, P. Boye, J. Feldkamp, B. Lengeler, M. Burghammer, C. Riekel, L. Vincze, A. van der Hart, and M. K¨uchler, Appl. Phys. Lett. 87, 124103 (2005).
  3. W. Chao, E. Anderson, G. P. Denbeaux, B. Harteneck, J. A. Liddle, D. L. Olynick, A. L. Pearson, and F. Salmassi, Opt. Lett. 28, 2019 (2003).
  4. Ch. Morawe, O. Hignette, P. Cloetens, W. Ludwig, Ch. Borel, P. Bernard, and A. Rommeveaux, Proc. SPIE 6317, 63170F (2006).
  5. H. C. Kang, J. Maser, G. B. Stephenson, C. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, and S. Vogt, Phys. Rev. Lett. 96, 127401 (2006).
  6. T. Koyama, S. Ichimaru, T. Tsuji, H. Takano, Y. Kagoshima, T. Ohchi, and H. Takenaka, Appl. Phys. Express 1, 117003 (2008).
  7. H. C. Kang, H. Yan, R. P. Winarski, M. V. Holt, J. Maser, C. Liu, R. Conley, S. Vogt, A. T. Macrander, and G. B. Stephenson, Appl. Phys. Lett. 92, 221114 (2008).
  8. C. Liu, R. Conley, and A. T. Macrander, Proc. SPIE 6317, 63170J (2006).
  9. M. Tan, H. Li, Q. Huang, H. Zhou, T. Huo, X. Wang, and J. Zhu, Chin. Opt. Lett. 9, 023102 (2011).
  10. J. Zhu, H. Li, X. Wang, Q. Huang, Z. Wang, Y. Li, H. Li, D. Wang, J. Zhao, and W. Lu, Chin. Opt. Lett. 8, 167 (2010).
  11. L. D. Madsen, L. Weaver, and S. N. Jacobsen, Microsc. Res. Technol. 36, 354 (1997).
  12. H. Gao, J. Cao, Y. Zhu, and C. Chen, Physics (in Chinese) 29, 610 (2000).
  13. J. Zhu, Q. Huang, H. Li, J. Xu, X. Wang, Z. Zhang, Z. Wang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 8, 174 (2010).
  14. H. C. Kang, G. B. Stephenson, C. Liu, R. Conley, R. Khachatryan, M. Wieczorek, A. T. Macrander, H. Yan, J. Maser, J. Hiller, and R. Koritala, Rev. Sci. Instrum. 78, 046103 (2007).
  15. S. Rehbein, P. Guttmann, S. Werner, and G. Schneider, J. Vac. Sci. Technol. B 25, 1789 (2007).

2011 (1)

2010 (2)

J. Zhu, H. Li, X. Wang, Q. Huang, Z. Wang, Y. Li, H. Li, D. Wang, J. Zhao, and W. Lu, Chin. Opt. Lett. 8, 167 (2010).

J. Zhu, Q. Huang, H. Li, J. Xu, X. Wang, Z. Zhang, Z. Wang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 8, 174 (2010).

2008 (2)

T. Koyama, S. Ichimaru, T. Tsuji, H. Takano, Y. Kagoshima, T. Ohchi, and H. Takenaka, Appl. Phys. Express 1, 117003 (2008).

H. C. Kang, H. Yan, R. P. Winarski, M. V. Holt, J. Maser, C. Liu, R. Conley, S. Vogt, A. T. Macrander, and G. B. Stephenson, Appl. Phys. Lett. 92, 221114 (2008).

2007 (2)

H. C. Kang, G. B. Stephenson, C. Liu, R. Conley, R. Khachatryan, M. Wieczorek, A. T. Macrander, H. Yan, J. Maser, J. Hiller, and R. Koritala, Rev. Sci. Instrum. 78, 046103 (2007).

S. Rehbein, P. Guttmann, S. Werner, and G. Schneider, J. Vac. Sci. Technol. B 25, 1789 (2007).

2006 (3)

C. Liu, R. Conley, and A. T. Macrander, Proc. SPIE 6317, 63170J (2006).

Ch. Morawe, O. Hignette, P. Cloetens, W. Ludwig, Ch. Borel, P. Bernard, and A. Rommeveaux, Proc. SPIE 6317, 63170F (2006).

H. C. Kang, J. Maser, G. B. Stephenson, C. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, and S. Vogt, Phys. Rev. Lett. 96, 127401 (2006).

2005 (2)

W. Liu, G. E. Ice, J. Z. Tischler, A. Khounsary, C. Liu, L. Assoufid, and A. T. Macrander, Rev. Sci. Instrum. 76, 113701 (2005).

C. G. Schroer, O. Kurapova, J. Patommel, P. Boye, J. Feldkamp, B. Lengeler, M. Burghammer, C. Riekel, L. Vincze, A. van der Hart, and M. K¨uchler, Appl. Phys. Lett. 87, 124103 (2005).

2003 (1)

2000 (1)

H. Gao, J. Cao, Y. Zhu, and C. Chen, Physics (in Chinese) 29, 610 (2000).

1997 (1)

L. D. Madsen, L. Weaver, and S. N. Jacobsen, Microsc. Res. Technol. 36, 354 (1997).

Anderson, E.

Assoufid, L.

W. Liu, G. E. Ice, J. Z. Tischler, A. Khounsary, C. Liu, L. Assoufid, and A. T. Macrander, Rev. Sci. Instrum. 76, 113701 (2005).

Bernard, P.

Ch. Morawe, O. Hignette, P. Cloetens, W. Ludwig, Ch. Borel, P. Bernard, and A. Rommeveaux, Proc. SPIE 6317, 63170F (2006).

Borel, Ch.

Ch. Morawe, O. Hignette, P. Cloetens, W. Ludwig, Ch. Borel, P. Bernard, and A. Rommeveaux, Proc. SPIE 6317, 63170F (2006).

Boye, P.

C. G. Schroer, O. Kurapova, J. Patommel, P. Boye, J. Feldkamp, B. Lengeler, M. Burghammer, C. Riekel, L. Vincze, A. van der Hart, and M. K¨uchler, Appl. Phys. Lett. 87, 124103 (2005).

Burghammer, M.

C. G. Schroer, O. Kurapova, J. Patommel, P. Boye, J. Feldkamp, B. Lengeler, M. Burghammer, C. Riekel, L. Vincze, A. van der Hart, and M. K¨uchler, Appl. Phys. Lett. 87, 124103 (2005).

Cao, J.

H. Gao, J. Cao, Y. Zhu, and C. Chen, Physics (in Chinese) 29, 610 (2000).

Chao, W.

Chen, C.

H. Gao, J. Cao, Y. Zhu, and C. Chen, Physics (in Chinese) 29, 610 (2000).

Chen, L.

J. Zhu, Q. Huang, H. Li, J. Xu, X. Wang, Z. Zhang, Z. Wang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 8, 174 (2010).

Cloetens, P.

Ch. Morawe, O. Hignette, P. Cloetens, W. Ludwig, Ch. Borel, P. Bernard, and A. Rommeveaux, Proc. SPIE 6317, 63170F (2006).

Conley, R.

H. C. Kang, H. Yan, R. P. Winarski, M. V. Holt, J. Maser, C. Liu, R. Conley, S. Vogt, A. T. Macrander, and G. B. Stephenson, Appl. Phys. Lett. 92, 221114 (2008).

H. C. Kang, G. B. Stephenson, C. Liu, R. Conley, R. Khachatryan, M. Wieczorek, A. T. Macrander, H. Yan, J. Maser, J. Hiller, and R. Koritala, Rev. Sci. Instrum. 78, 046103 (2007).

C. Liu, R. Conley, and A. T. Macrander, Proc. SPIE 6317, 63170J (2006).

H. C. Kang, J. Maser, G. B. Stephenson, C. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, and S. Vogt, Phys. Rev. Lett. 96, 127401 (2006).

Denbeaux, G. P.

Feldkamp, J.

C. G. Schroer, O. Kurapova, J. Patommel, P. Boye, J. Feldkamp, B. Lengeler, M. Burghammer, C. Riekel, L. Vincze, A. van der Hart, and M. K¨uchler, Appl. Phys. Lett. 87, 124103 (2005).

Gao, H.

H. Gao, J. Cao, Y. Zhu, and C. Chen, Physics (in Chinese) 29, 610 (2000).

Guttmann, P.

S. Rehbein, P. Guttmann, S. Werner, and G. Schneider, J. Vac. Sci. Technol. B 25, 1789 (2007).

Hart, A. van der

C. G. Schroer, O. Kurapova, J. Patommel, P. Boye, J. Feldkamp, B. Lengeler, M. Burghammer, C. Riekel, L. Vincze, A. van der Hart, and M. K¨uchler, Appl. Phys. Lett. 87, 124103 (2005).

Harteneck, B.

Hignette, O.

Ch. Morawe, O. Hignette, P. Cloetens, W. Ludwig, Ch. Borel, P. Bernard, and A. Rommeveaux, Proc. SPIE 6317, 63170F (2006).

Hiller, J.

H. C. Kang, G. B. Stephenson, C. Liu, R. Conley, R. Khachatryan, M. Wieczorek, A. T. Macrander, H. Yan, J. Maser, J. Hiller, and R. Koritala, Rev. Sci. Instrum. 78, 046103 (2007).

Holt, M. V.

H. C. Kang, H. Yan, R. P. Winarski, M. V. Holt, J. Maser, C. Liu, R. Conley, S. Vogt, A. T. Macrander, and G. B. Stephenson, Appl. Phys. Lett. 92, 221114 (2008).

Huang, Q.

Huo, T.

Ice, G. E.

W. Liu, G. E. Ice, J. Z. Tischler, A. Khounsary, C. Liu, L. Assoufid, and A. T. Macrander, Rev. Sci. Instrum. 76, 113701 (2005).

Ichimaru, S.

T. Koyama, S. Ichimaru, T. Tsuji, H. Takano, Y. Kagoshima, T. Ohchi, and H. Takenaka, Appl. Phys. Express 1, 117003 (2008).

Jacobsen, S. N.

L. D. Madsen, L. Weaver, and S. N. Jacobsen, Microsc. Res. Technol. 36, 354 (1997).

K¨uchler, M.

C. G. Schroer, O. Kurapova, J. Patommel, P. Boye, J. Feldkamp, B. Lengeler, M. Burghammer, C. Riekel, L. Vincze, A. van der Hart, and M. K¨uchler, Appl. Phys. Lett. 87, 124103 (2005).

Kagoshima, Y.

T. Koyama, S. Ichimaru, T. Tsuji, H. Takano, Y. Kagoshima, T. Ohchi, and H. Takenaka, Appl. Phys. Express 1, 117003 (2008).

Kang, H. C.

H. C. Kang, H. Yan, R. P. Winarski, M. V. Holt, J. Maser, C. Liu, R. Conley, S. Vogt, A. T. Macrander, and G. B. Stephenson, Appl. Phys. Lett. 92, 221114 (2008).

H. C. Kang, G. B. Stephenson, C. Liu, R. Conley, R. Khachatryan, M. Wieczorek, A. T. Macrander, H. Yan, J. Maser, J. Hiller, and R. Koritala, Rev. Sci. Instrum. 78, 046103 (2007).

H. C. Kang, J. Maser, G. B. Stephenson, C. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, and S. Vogt, Phys. Rev. Lett. 96, 127401 (2006).

Khachatryan, R.

H. C. Kang, G. B. Stephenson, C. Liu, R. Conley, R. Khachatryan, M. Wieczorek, A. T. Macrander, H. Yan, J. Maser, J. Hiller, and R. Koritala, Rev. Sci. Instrum. 78, 046103 (2007).

Khounsary, A.

W. Liu, G. E. Ice, J. Z. Tischler, A. Khounsary, C. Liu, L. Assoufid, and A. T. Macrander, Rev. Sci. Instrum. 76, 113701 (2005).

Koritala, R.

H. C. Kang, G. B. Stephenson, C. Liu, R. Conley, R. Khachatryan, M. Wieczorek, A. T. Macrander, H. Yan, J. Maser, J. Hiller, and R. Koritala, Rev. Sci. Instrum. 78, 046103 (2007).

Koyama, T.

T. Koyama, S. Ichimaru, T. Tsuji, H. Takano, Y. Kagoshima, T. Ohchi, and H. Takenaka, Appl. Phys. Express 1, 117003 (2008).

Kurapova, O.

C. G. Schroer, O. Kurapova, J. Patommel, P. Boye, J. Feldkamp, B. Lengeler, M. Burghammer, C. Riekel, L. Vincze, A. van der Hart, and M. K¨uchler, Appl. Phys. Lett. 87, 124103 (2005).

Lengeler, B.

C. G. Schroer, O. Kurapova, J. Patommel, P. Boye, J. Feldkamp, B. Lengeler, M. Burghammer, C. Riekel, L. Vincze, A. van der Hart, and M. K¨uchler, Appl. Phys. Lett. 87, 124103 (2005).

Li, H.

Li, Y.

Liddle, J. A.

Liu, C.

H. C. Kang, H. Yan, R. P. Winarski, M. V. Holt, J. Maser, C. Liu, R. Conley, S. Vogt, A. T. Macrander, and G. B. Stephenson, Appl. Phys. Lett. 92, 221114 (2008).

H. C. Kang, G. B. Stephenson, C. Liu, R. Conley, R. Khachatryan, M. Wieczorek, A. T. Macrander, H. Yan, J. Maser, J. Hiller, and R. Koritala, Rev. Sci. Instrum. 78, 046103 (2007).

C. Liu, R. Conley, and A. T. Macrander, Proc. SPIE 6317, 63170J (2006).

H. C. Kang, J. Maser, G. B. Stephenson, C. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, and S. Vogt, Phys. Rev. Lett. 96, 127401 (2006).

W. Liu, G. E. Ice, J. Z. Tischler, A. Khounsary, C. Liu, L. Assoufid, and A. T. Macrander, Rev. Sci. Instrum. 76, 113701 (2005).

Liu, W.

W. Liu, G. E. Ice, J. Z. Tischler, A. Khounsary, C. Liu, L. Assoufid, and A. T. Macrander, Rev. Sci. Instrum. 76, 113701 (2005).

Lu, W.

Ludwig, W.

Ch. Morawe, O. Hignette, P. Cloetens, W. Ludwig, Ch. Borel, P. Bernard, and A. Rommeveaux, Proc. SPIE 6317, 63170F (2006).

Macrander, A. T.

H. C. Kang, H. Yan, R. P. Winarski, M. V. Holt, J. Maser, C. Liu, R. Conley, S. Vogt, A. T. Macrander, and G. B. Stephenson, Appl. Phys. Lett. 92, 221114 (2008).

H. C. Kang, G. B. Stephenson, C. Liu, R. Conley, R. Khachatryan, M. Wieczorek, A. T. Macrander, H. Yan, J. Maser, J. Hiller, and R. Koritala, Rev. Sci. Instrum. 78, 046103 (2007).

C. Liu, R. Conley, and A. T. Macrander, Proc. SPIE 6317, 63170J (2006).

H. C. Kang, J. Maser, G. B. Stephenson, C. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, and S. Vogt, Phys. Rev. Lett. 96, 127401 (2006).

W. Liu, G. E. Ice, J. Z. Tischler, A. Khounsary, C. Liu, L. Assoufid, and A. T. Macrander, Rev. Sci. Instrum. 76, 113701 (2005).

Madsen, L. D.

L. D. Madsen, L. Weaver, and S. N. Jacobsen, Microsc. Res. Technol. 36, 354 (1997).

Maser, J.

H. C. Kang, H. Yan, R. P. Winarski, M. V. Holt, J. Maser, C. Liu, R. Conley, S. Vogt, A. T. Macrander, and G. B. Stephenson, Appl. Phys. Lett. 92, 221114 (2008).

H. C. Kang, G. B. Stephenson, C. Liu, R. Conley, R. Khachatryan, M. Wieczorek, A. T. Macrander, H. Yan, J. Maser, J. Hiller, and R. Koritala, Rev. Sci. Instrum. 78, 046103 (2007).

H. C. Kang, J. Maser, G. B. Stephenson, C. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, and S. Vogt, Phys. Rev. Lett. 96, 127401 (2006).

Morawe, Ch.

Ch. Morawe, O. Hignette, P. Cloetens, W. Ludwig, Ch. Borel, P. Bernard, and A. Rommeveaux, Proc. SPIE 6317, 63170F (2006).

Ohchi, T.

T. Koyama, S. Ichimaru, T. Tsuji, H. Takano, Y. Kagoshima, T. Ohchi, and H. Takenaka, Appl. Phys. Express 1, 117003 (2008).

Olynick, D. L.

Patommel, J.

C. G. Schroer, O. Kurapova, J. Patommel, P. Boye, J. Feldkamp, B. Lengeler, M. Burghammer, C. Riekel, L. Vincze, A. van der Hart, and M. K¨uchler, Appl. Phys. Lett. 87, 124103 (2005).

Pearson, A. L.

Rehbein, S.

S. Rehbein, P. Guttmann, S. Werner, and G. Schneider, J. Vac. Sci. Technol. B 25, 1789 (2007).

Riekel, C.

C. G. Schroer, O. Kurapova, J. Patommel, P. Boye, J. Feldkamp, B. Lengeler, M. Burghammer, C. Riekel, L. Vincze, A. van der Hart, and M. K¨uchler, Appl. Phys. Lett. 87, 124103 (2005).

Rommeveaux, A.

Ch. Morawe, O. Hignette, P. Cloetens, W. Ludwig, Ch. Borel, P. Bernard, and A. Rommeveaux, Proc. SPIE 6317, 63170F (2006).

Salmassi, F.

Schneider, G.

S. Rehbein, P. Guttmann, S. Werner, and G. Schneider, J. Vac. Sci. Technol. B 25, 1789 (2007).

Schroer, C. G.

C. G. Schroer, O. Kurapova, J. Patommel, P. Boye, J. Feldkamp, B. Lengeler, M. Burghammer, C. Riekel, L. Vincze, A. van der Hart, and M. K¨uchler, Appl. Phys. Lett. 87, 124103 (2005).

Stephenson, G. B.

H. C. Kang, H. Yan, R. P. Winarski, M. V. Holt, J. Maser, C. Liu, R. Conley, S. Vogt, A. T. Macrander, and G. B. Stephenson, Appl. Phys. Lett. 92, 221114 (2008).

H. C. Kang, G. B. Stephenson, C. Liu, R. Conley, R. Khachatryan, M. Wieczorek, A. T. Macrander, H. Yan, J. Maser, J. Hiller, and R. Koritala, Rev. Sci. Instrum. 78, 046103 (2007).

H. C. Kang, J. Maser, G. B. Stephenson, C. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, and S. Vogt, Phys. Rev. Lett. 96, 127401 (2006).

Takano, H.

T. Koyama, S. Ichimaru, T. Tsuji, H. Takano, Y. Kagoshima, T. Ohchi, and H. Takenaka, Appl. Phys. Express 1, 117003 (2008).

Takenaka, H.

T. Koyama, S. Ichimaru, T. Tsuji, H. Takano, Y. Kagoshima, T. Ohchi, and H. Takenaka, Appl. Phys. Express 1, 117003 (2008).

Tan, M.

Tischler, J. Z.

W. Liu, G. E. Ice, J. Z. Tischler, A. Khounsary, C. Liu, L. Assoufid, and A. T. Macrander, Rev. Sci. Instrum. 76, 113701 (2005).

Tsuji, T.

T. Koyama, S. Ichimaru, T. Tsuji, H. Takano, Y. Kagoshima, T. Ohchi, and H. Takenaka, Appl. Phys. Express 1, 117003 (2008).

Vincze, L.

C. G. Schroer, O. Kurapova, J. Patommel, P. Boye, J. Feldkamp, B. Lengeler, M. Burghammer, C. Riekel, L. Vincze, A. van der Hart, and M. K¨uchler, Appl. Phys. Lett. 87, 124103 (2005).

Vogt, S.

H. C. Kang, H. Yan, R. P. Winarski, M. V. Holt, J. Maser, C. Liu, R. Conley, S. Vogt, A. T. Macrander, and G. B. Stephenson, Appl. Phys. Lett. 92, 221114 (2008).

H. C. Kang, J. Maser, G. B. Stephenson, C. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, and S. Vogt, Phys. Rev. Lett. 96, 127401 (2006).

Wang, D.

Wang, X.

Wang, Z.

J. Zhu, Q. Huang, H. Li, J. Xu, X. Wang, Z. Zhang, Z. Wang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 8, 174 (2010).

J. Zhu, H. Li, X. Wang, Q. Huang, Z. Wang, Y. Li, H. Li, D. Wang, J. Zhao, and W. Lu, Chin. Opt. Lett. 8, 167 (2010).

Weaver, L.

L. D. Madsen, L. Weaver, and S. N. Jacobsen, Microsc. Res. Technol. 36, 354 (1997).

Werner, S.

S. Rehbein, P. Guttmann, S. Werner, and G. Schneider, J. Vac. Sci. Technol. B 25, 1789 (2007).

Wieczorek, M.

H. C. Kang, G. B. Stephenson, C. Liu, R. Conley, R. Khachatryan, M. Wieczorek, A. T. Macrander, H. Yan, J. Maser, J. Hiller, and R. Koritala, Rev. Sci. Instrum. 78, 046103 (2007).

Winarski, R. P.

H. C. Kang, H. Yan, R. P. Winarski, M. V. Holt, J. Maser, C. Liu, R. Conley, S. Vogt, A. T. Macrander, and G. B. Stephenson, Appl. Phys. Lett. 92, 221114 (2008).

Xu, J.

J. Zhu, Q. Huang, H. Li, J. Xu, X. Wang, Z. Zhang, Z. Wang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 8, 174 (2010).

Yan, H.

H. C. Kang, H. Yan, R. P. Winarski, M. V. Holt, J. Maser, C. Liu, R. Conley, S. Vogt, A. T. Macrander, and G. B. Stephenson, Appl. Phys. Lett. 92, 221114 (2008).

H. C. Kang, G. B. Stephenson, C. Liu, R. Conley, R. Khachatryan, M. Wieczorek, A. T. Macrander, H. Yan, J. Maser, J. Hiller, and R. Koritala, Rev. Sci. Instrum. 78, 046103 (2007).

Zhang, Z.

J. Zhu, Q. Huang, H. Li, J. Xu, X. Wang, Z. Zhang, Z. Wang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 8, 174 (2010).

Zhao, J.

Zhou, H.

Zhu, J.

Zhu, Y.

H. Gao, J. Cao, Y. Zhu, and C. Chen, Physics (in Chinese) 29, 610 (2000).

Appl. Phys. Express (1)

T. Koyama, S. Ichimaru, T. Tsuji, H. Takano, Y. Kagoshima, T. Ohchi, and H. Takenaka, Appl. Phys. Express 1, 117003 (2008).

Appl. Phys. Lett. (2)

H. C. Kang, H. Yan, R. P. Winarski, M. V. Holt, J. Maser, C. Liu, R. Conley, S. Vogt, A. T. Macrander, and G. B. Stephenson, Appl. Phys. Lett. 92, 221114 (2008).

C. G. Schroer, O. Kurapova, J. Patommel, P. Boye, J. Feldkamp, B. Lengeler, M. Burghammer, C. Riekel, L. Vincze, A. van der Hart, and M. K¨uchler, Appl. Phys. Lett. 87, 124103 (2005).

Chin. Opt. Lett. (3)

J. Vac. Sci. Technol. B (1)

S. Rehbein, P. Guttmann, S. Werner, and G. Schneider, J. Vac. Sci. Technol. B 25, 1789 (2007).

Microsc. Res. Technol. (1)

L. D. Madsen, L. Weaver, and S. N. Jacobsen, Microsc. Res. Technol. 36, 354 (1997).

Opt. Lett. (1)

Phys. Rev. Lett. (1)

H. C. Kang, J. Maser, G. B. Stephenson, C. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, and S. Vogt, Phys. Rev. Lett. 96, 127401 (2006).

Physics (in Chinese) (1)

H. Gao, J. Cao, Y. Zhu, and C. Chen, Physics (in Chinese) 29, 610 (2000).

Proc. SPIE (2)

Ch. Morawe, O. Hignette, P. Cloetens, W. Ludwig, Ch. Borel, P. Bernard, and A. Rommeveaux, Proc. SPIE 6317, 63170F (2006).

C. Liu, R. Conley, and A. T. Macrander, Proc. SPIE 6317, 63170J (2006).

Rev. Sci. Instrum. (2)

H. C. Kang, G. B. Stephenson, C. Liu, R. Conley, R. Khachatryan, M. Wieczorek, A. T. Macrander, H. Yan, J. Maser, J. Hiller, and R. Koritala, Rev. Sci. Instrum. 78, 046103 (2007).

W. Liu, G. E. Ice, J. Z. Tischler, A. Khounsary, C. Liu, L. Assoufid, and A. T. Macrander, Rev. Sci. Instrum. 76, 113701 (2005).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.