Abstract

Silicon-on-insulator (SOI) technology offers tremendous potential for integration of optoelectronic functions on a silicon wafer. In this letter, a 1 × 1 multimode interference (MMI) Mach-Zender interferometer (MZI) thermo-optic modulator fabricated by wet-etching method is demonstrated. The modulator has an extinction ratio of -11.0 dB, extra loss of -4.9 dB and power consumption of 420 mW. The response time is less than 30 ?s.

© 2005 Chinese Optics Letters

PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. U. Fischer, T. Zinke, J. R. Kropp, F. Arndt, and K. Petermann, IEEE Photon. Technol. Lett. 8, 647 (1996).
  2. U. Fischer, T. Zinke, and B. Schupper, and K. Petermann, Electron. Lett. 30, 406 (1994).
  3. P. Dainesi, L. Thevenaz, and P. Robert, Appl. Phys. B 73, 475 (2001).
  4. P. A. Besse, M. Bachmann, H. Melchior, L. B. Soldano, and M. K. Smit, J. Lightwave Technol. 12, 1004 (1994).
  5. H. Z. Wei, J. Z. Yu, Z. L. Liu, X. F. Zhang, W. Shi, and C. S. Fang, Chin. Phys. Lett. 18, 245 (2001).
  6. Q. Lai, W. Hunziker, and H. Melchior, IEEE Photon. Technol. Lett. 10, 681 (1998).
  7. M.-H. Lee, Y. H. Min, S. Park, J. J. Ju, J. Y. Do, and S. K. Park, IEEE Photon. Technol. Lett. 14, 615 (2002).

2002 (1)

M.-H. Lee, Y. H. Min, S. Park, J. J. Ju, J. Y. Do, and S. K. Park, IEEE Photon. Technol. Lett. 14, 615 (2002).

2001 (2)

H. Z. Wei, J. Z. Yu, Z. L. Liu, X. F. Zhang, W. Shi, and C. S. Fang, Chin. Phys. Lett. 18, 245 (2001).

P. Dainesi, L. Thevenaz, and P. Robert, Appl. Phys. B 73, 475 (2001).

1998 (1)

Q. Lai, W. Hunziker, and H. Melchior, IEEE Photon. Technol. Lett. 10, 681 (1998).

1996 (1)

U. Fischer, T. Zinke, J. R. Kropp, F. Arndt, and K. Petermann, IEEE Photon. Technol. Lett. 8, 647 (1996).

1994 (2)

U. Fischer, T. Zinke, and B. Schupper, and K. Petermann, Electron. Lett. 30, 406 (1994).

P. A. Besse, M. Bachmann, H. Melchior, L. B. Soldano, and M. K. Smit, J. Lightwave Technol. 12, 1004 (1994).

Arndt, F.

U. Fischer, T. Zinke, J. R. Kropp, F. Arndt, and K. Petermann, IEEE Photon. Technol. Lett. 8, 647 (1996).

Bachmann, M.

P. A. Besse, M. Bachmann, H. Melchior, L. B. Soldano, and M. K. Smit, J. Lightwave Technol. 12, 1004 (1994).

Besse, P. A.

P. A. Besse, M. Bachmann, H. Melchior, L. B. Soldano, and M. K. Smit, J. Lightwave Technol. 12, 1004 (1994).

Dainesi, P.

P. Dainesi, L. Thevenaz, and P. Robert, Appl. Phys. B 73, 475 (2001).

Do, J. Y.

M.-H. Lee, Y. H. Min, S. Park, J. J. Ju, J. Y. Do, and S. K. Park, IEEE Photon. Technol. Lett. 14, 615 (2002).

Fang, C. S.

H. Z. Wei, J. Z. Yu, Z. L. Liu, X. F. Zhang, W. Shi, and C. S. Fang, Chin. Phys. Lett. 18, 245 (2001).

Fischer, U.

U. Fischer, T. Zinke, J. R. Kropp, F. Arndt, and K. Petermann, IEEE Photon. Technol. Lett. 8, 647 (1996).

U. Fischer, T. Zinke, and B. Schupper, and K. Petermann, Electron. Lett. 30, 406 (1994).

Hunziker, W.

Q. Lai, W. Hunziker, and H. Melchior, IEEE Photon. Technol. Lett. 10, 681 (1998).

Ju, J. J.

M.-H. Lee, Y. H. Min, S. Park, J. J. Ju, J. Y. Do, and S. K. Park, IEEE Photon. Technol. Lett. 14, 615 (2002).

Kropp, J. R.

U. Fischer, T. Zinke, J. R. Kropp, F. Arndt, and K. Petermann, IEEE Photon. Technol. Lett. 8, 647 (1996).

Lai, Q.

Q. Lai, W. Hunziker, and H. Melchior, IEEE Photon. Technol. Lett. 10, 681 (1998).

Lee, M.-H.

M.-H. Lee, Y. H. Min, S. Park, J. J. Ju, J. Y. Do, and S. K. Park, IEEE Photon. Technol. Lett. 14, 615 (2002).

Liu, Z. L.

H. Z. Wei, J. Z. Yu, Z. L. Liu, X. F. Zhang, W. Shi, and C. S. Fang, Chin. Phys. Lett. 18, 245 (2001).

Melchior, H.

Q. Lai, W. Hunziker, and H. Melchior, IEEE Photon. Technol. Lett. 10, 681 (1998).

P. A. Besse, M. Bachmann, H. Melchior, L. B. Soldano, and M. K. Smit, J. Lightwave Technol. 12, 1004 (1994).

Min, Y. H.

M.-H. Lee, Y. H. Min, S. Park, J. J. Ju, J. Y. Do, and S. K. Park, IEEE Photon. Technol. Lett. 14, 615 (2002).

Park, S.

M.-H. Lee, Y. H. Min, S. Park, J. J. Ju, J. Y. Do, and S. K. Park, IEEE Photon. Technol. Lett. 14, 615 (2002).

Park, S. K.

M.-H. Lee, Y. H. Min, S. Park, J. J. Ju, J. Y. Do, and S. K. Park, IEEE Photon. Technol. Lett. 14, 615 (2002).

Petermann, K.

U. Fischer, T. Zinke, J. R. Kropp, F. Arndt, and K. Petermann, IEEE Photon. Technol. Lett. 8, 647 (1996).

U. Fischer, T. Zinke, and B. Schupper, and K. Petermann, Electron. Lett. 30, 406 (1994).

Robert, P.

P. Dainesi, L. Thevenaz, and P. Robert, Appl. Phys. B 73, 475 (2001).

Schupper, B.

U. Fischer, T. Zinke, and B. Schupper, and K. Petermann, Electron. Lett. 30, 406 (1994).

Shi, W.

H. Z. Wei, J. Z. Yu, Z. L. Liu, X. F. Zhang, W. Shi, and C. S. Fang, Chin. Phys. Lett. 18, 245 (2001).

Smit, M. K.

P. A. Besse, M. Bachmann, H. Melchior, L. B. Soldano, and M. K. Smit, J. Lightwave Technol. 12, 1004 (1994).

Soldano, L. B.

P. A. Besse, M. Bachmann, H. Melchior, L. B. Soldano, and M. K. Smit, J. Lightwave Technol. 12, 1004 (1994).

Thevenaz, L.

P. Dainesi, L. Thevenaz, and P. Robert, Appl. Phys. B 73, 475 (2001).

Wei, H. Z.

H. Z. Wei, J. Z. Yu, Z. L. Liu, X. F. Zhang, W. Shi, and C. S. Fang, Chin. Phys. Lett. 18, 245 (2001).

Yu, J. Z.

H. Z. Wei, J. Z. Yu, Z. L. Liu, X. F. Zhang, W. Shi, and C. S. Fang, Chin. Phys. Lett. 18, 245 (2001).

Zhang, X. F.

H. Z. Wei, J. Z. Yu, Z. L. Liu, X. F. Zhang, W. Shi, and C. S. Fang, Chin. Phys. Lett. 18, 245 (2001).

Zinke, T.

U. Fischer, T. Zinke, J. R. Kropp, F. Arndt, and K. Petermann, IEEE Photon. Technol. Lett. 8, 647 (1996).

U. Fischer, T. Zinke, and B. Schupper, and K. Petermann, Electron. Lett. 30, 406 (1994).

Appl. Phys. B (1)

P. Dainesi, L. Thevenaz, and P. Robert, Appl. Phys. B 73, 475 (2001).

Chin. Phys. Lett. (1)

H. Z. Wei, J. Z. Yu, Z. L. Liu, X. F. Zhang, W. Shi, and C. S. Fang, Chin. Phys. Lett. 18, 245 (2001).

Electron. Lett. (1)

U. Fischer, T. Zinke, and B. Schupper, and K. Petermann, Electron. Lett. 30, 406 (1994).

IEEE Photon. Technol. Lett. (3)

U. Fischer, T. Zinke, J. R. Kropp, F. Arndt, and K. Petermann, IEEE Photon. Technol. Lett. 8, 647 (1996).

Q. Lai, W. Hunziker, and H. Melchior, IEEE Photon. Technol. Lett. 10, 681 (1998).

M.-H. Lee, Y. H. Min, S. Park, J. J. Ju, J. Y. Do, and S. K. Park, IEEE Photon. Technol. Lett. 14, 615 (2002).

J. Lightwave Technol. (1)

P. A. Besse, M. Bachmann, H. Melchior, L. B. Soldano, and M. K. Smit, J. Lightwave Technol. 12, 1004 (1994).

Cited By

OSA participates in Crossref's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.