Abstract

Equilateral triangle semiconductor microcavities with tensile-strained InGaAsP multi-quantum-well as the active region are fabricated by the inductively coupled plasma (ICP) etching technique. The mode characteristics of the fabricated microcavities are investigated by photoluminescence, and enhanced peaks of the photoluminescence spectra corresponding to the fundamental transverse modes are observed for microcavities with side lengths of 5 and 10 ?m. The mode wavelength spacings measured experimentally coincide very well with those obtained by the theoretical formulae.

© 2005 Chinese Optics Letters

PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. S. L. McCall, A. F. Levi, R. E. Slusher, S. J. Pearton, and R. A. Logan, Appl. Phys. Lett. 60, 289 (1992).
  2. J. P. Zhang, D. Y. Chu, S. L. Wu, S. T. Ho, W. G. Bi, C. W. Tu, and R. C. Tiberio, Phys. Rev. Lett. 75, 2678 (1995).
  3. T. Baba, P. Fujita, A. Sakai, M. Kihara, and R. Watanabe, IEEE Photon. Technol. Lett. 9, 878 (1997).
  4. C. Gmachl, F. Capasso, E. E. Narimanov, J. U. Nockel, A. D. Stone, J. Faist, D. L. Sivco, and A. Y. Cho, Science 280, 1556 (1998).
  5. S. X. Dou, E. Toussaere, T. Ben-Messaoud, A. Potter, D. Josse, G. Kranzelbinder, and J. Zyss, Appl. Phys. Lett. 80, 165 (2002).
  6. M. Fujita, R. Ushigome, and T. Baba, Electron. Lett. 36, 790 (2000).
  7. M. Fujita, K. Teshima, and T. Baba, Jpn. J. Appl. Phys. Part 2, 40, L875 (2001).
  8. M. Fujita and T. Baba, Appl. Phys. Lett. 80, 2051 (2002).
  9. Y. Z. Huang, W. H. Guo, and Q. M. Wang, Appl. Phys. Lett. 77, 3511 (2000).
  10. W. H. Guo, Y. Z. Huang, and Q. M. Wang, IEEE Photon. Technol. Lett. 12, 813 (2000).
  11. Y. Z. Huang, W. H. Guo, and Q. M. Wang, IEEE J. Quantum Electron. 37, 100 (2001).
  12. Y. Z. Huang, W. H. Guo, and Q. M. Wang, IEEE. J. Quantum Electron. 37, 1259 (2001).
  13. W. H. Guo, W. J. Li, and Y. Z. Huang, IEEE Microwave Wireless Components Lett. 11, 223 (2001).

2002 (2)

S. X. Dou, E. Toussaere, T. Ben-Messaoud, A. Potter, D. Josse, G. Kranzelbinder, and J. Zyss, Appl. Phys. Lett. 80, 165 (2002).

M. Fujita and T. Baba, Appl. Phys. Lett. 80, 2051 (2002).

2001 (3)

Y. Z. Huang, W. H. Guo, and Q. M. Wang, IEEE J. Quantum Electron. 37, 100 (2001).

Y. Z. Huang, W. H. Guo, and Q. M. Wang, IEEE. J. Quantum Electron. 37, 1259 (2001).

W. H. Guo, W. J. Li, and Y. Z. Huang, IEEE Microwave Wireless Components Lett. 11, 223 (2001).

2000 (3)

Y. Z. Huang, W. H. Guo, and Q. M. Wang, Appl. Phys. Lett. 77, 3511 (2000).

W. H. Guo, Y. Z. Huang, and Q. M. Wang, IEEE Photon. Technol. Lett. 12, 813 (2000).

M. Fujita, R. Ushigome, and T. Baba, Electron. Lett. 36, 790 (2000).

1998 (1)

C. Gmachl, F. Capasso, E. E. Narimanov, J. U. Nockel, A. D. Stone, J. Faist, D. L. Sivco, and A. Y. Cho, Science 280, 1556 (1998).

1997 (1)

T. Baba, P. Fujita, A. Sakai, M. Kihara, and R. Watanabe, IEEE Photon. Technol. Lett. 9, 878 (1997).

1995 (1)

J. P. Zhang, D. Y. Chu, S. L. Wu, S. T. Ho, W. G. Bi, C. W. Tu, and R. C. Tiberio, Phys. Rev. Lett. 75, 2678 (1995).

1992 (1)

S. L. McCall, A. F. Levi, R. E. Slusher, S. J. Pearton, and R. A. Logan, Appl. Phys. Lett. 60, 289 (1992).

Baba, T.

M. Fujita and T. Baba, Appl. Phys. Lett. 80, 2051 (2002).

M. Fujita, R. Ushigome, and T. Baba, Electron. Lett. 36, 790 (2000).

T. Baba, P. Fujita, A. Sakai, M. Kihara, and R. Watanabe, IEEE Photon. Technol. Lett. 9, 878 (1997).

Ben-Messaoud, T.

S. X. Dou, E. Toussaere, T. Ben-Messaoud, A. Potter, D. Josse, G. Kranzelbinder, and J. Zyss, Appl. Phys. Lett. 80, 165 (2002).

Bi, W. G.

J. P. Zhang, D. Y. Chu, S. L. Wu, S. T. Ho, W. G. Bi, C. W. Tu, and R. C. Tiberio, Phys. Rev. Lett. 75, 2678 (1995).

Capasso, F.

C. Gmachl, F. Capasso, E. E. Narimanov, J. U. Nockel, A. D. Stone, J. Faist, D. L. Sivco, and A. Y. Cho, Science 280, 1556 (1998).

Cho, A. Y.

C. Gmachl, F. Capasso, E. E. Narimanov, J. U. Nockel, A. D. Stone, J. Faist, D. L. Sivco, and A. Y. Cho, Science 280, 1556 (1998).

Chu, D. Y.

J. P. Zhang, D. Y. Chu, S. L. Wu, S. T. Ho, W. G. Bi, C. W. Tu, and R. C. Tiberio, Phys. Rev. Lett. 75, 2678 (1995).

Dou, S. X.

S. X. Dou, E. Toussaere, T. Ben-Messaoud, A. Potter, D. Josse, G. Kranzelbinder, and J. Zyss, Appl. Phys. Lett. 80, 165 (2002).

Faist, J.

C. Gmachl, F. Capasso, E. E. Narimanov, J. U. Nockel, A. D. Stone, J. Faist, D. L. Sivco, and A. Y. Cho, Science 280, 1556 (1998).

Fujita, M.

M. Fujita and T. Baba, Appl. Phys. Lett. 80, 2051 (2002).

M. Fujita, R. Ushigome, and T. Baba, Electron. Lett. 36, 790 (2000).

Fujita, P.

T. Baba, P. Fujita, A. Sakai, M. Kihara, and R. Watanabe, IEEE Photon. Technol. Lett. 9, 878 (1997).

Gmachl, C.

C. Gmachl, F. Capasso, E. E. Narimanov, J. U. Nockel, A. D. Stone, J. Faist, D. L. Sivco, and A. Y. Cho, Science 280, 1556 (1998).

Guo, W. H.

Y. Z. Huang, W. H. Guo, and Q. M. Wang, IEEE J. Quantum Electron. 37, 100 (2001).

Y. Z. Huang, W. H. Guo, and Q. M. Wang, IEEE. J. Quantum Electron. 37, 1259 (2001).

W. H. Guo, W. J. Li, and Y. Z. Huang, IEEE Microwave Wireless Components Lett. 11, 223 (2001).

W. H. Guo, Y. Z. Huang, and Q. M. Wang, IEEE Photon. Technol. Lett. 12, 813 (2000).

Y. Z. Huang, W. H. Guo, and Q. M. Wang, Appl. Phys. Lett. 77, 3511 (2000).

Ho, S. T.

J. P. Zhang, D. Y. Chu, S. L. Wu, S. T. Ho, W. G. Bi, C. W. Tu, and R. C. Tiberio, Phys. Rev. Lett. 75, 2678 (1995).

Huang, Y. Z.

Y. Z. Huang, W. H. Guo, and Q. M. Wang, IEEE J. Quantum Electron. 37, 100 (2001).

Y. Z. Huang, W. H. Guo, and Q. M. Wang, IEEE. J. Quantum Electron. 37, 1259 (2001).

W. H. Guo, W. J. Li, and Y. Z. Huang, IEEE Microwave Wireless Components Lett. 11, 223 (2001).

W. H. Guo, Y. Z. Huang, and Q. M. Wang, IEEE Photon. Technol. Lett. 12, 813 (2000).

Y. Z. Huang, W. H. Guo, and Q. M. Wang, Appl. Phys. Lett. 77, 3511 (2000).

Josse, D.

S. X. Dou, E. Toussaere, T. Ben-Messaoud, A. Potter, D. Josse, G. Kranzelbinder, and J. Zyss, Appl. Phys. Lett. 80, 165 (2002).

Kihara, M.

T. Baba, P. Fujita, A. Sakai, M. Kihara, and R. Watanabe, IEEE Photon. Technol. Lett. 9, 878 (1997).

Kranzelbinder, G.

S. X. Dou, E. Toussaere, T. Ben-Messaoud, A. Potter, D. Josse, G. Kranzelbinder, and J. Zyss, Appl. Phys. Lett. 80, 165 (2002).

Levi, A. F.

S. L. McCall, A. F. Levi, R. E. Slusher, S. J. Pearton, and R. A. Logan, Appl. Phys. Lett. 60, 289 (1992).

Li, W. J.

W. H. Guo, W. J. Li, and Y. Z. Huang, IEEE Microwave Wireless Components Lett. 11, 223 (2001).

Logan, R. A.

S. L. McCall, A. F. Levi, R. E. Slusher, S. J. Pearton, and R. A. Logan, Appl. Phys. Lett. 60, 289 (1992).

McCall, S. L.

S. L. McCall, A. F. Levi, R. E. Slusher, S. J. Pearton, and R. A. Logan, Appl. Phys. Lett. 60, 289 (1992).

Narimanov, E. E.

C. Gmachl, F. Capasso, E. E. Narimanov, J. U. Nockel, A. D. Stone, J. Faist, D. L. Sivco, and A. Y. Cho, Science 280, 1556 (1998).

Nockel, J. U.

C. Gmachl, F. Capasso, E. E. Narimanov, J. U. Nockel, A. D. Stone, J. Faist, D. L. Sivco, and A. Y. Cho, Science 280, 1556 (1998).

Pearton, S. J.

S. L. McCall, A. F. Levi, R. E. Slusher, S. J. Pearton, and R. A. Logan, Appl. Phys. Lett. 60, 289 (1992).

Potter, A.

S. X. Dou, E. Toussaere, T. Ben-Messaoud, A. Potter, D. Josse, G. Kranzelbinder, and J. Zyss, Appl. Phys. Lett. 80, 165 (2002).

Sakai, A.

T. Baba, P. Fujita, A. Sakai, M. Kihara, and R. Watanabe, IEEE Photon. Technol. Lett. 9, 878 (1997).

Sivco, D. L.

C. Gmachl, F. Capasso, E. E. Narimanov, J. U. Nockel, A. D. Stone, J. Faist, D. L. Sivco, and A. Y. Cho, Science 280, 1556 (1998).

Slusher, R. E.

S. L. McCall, A. F. Levi, R. E. Slusher, S. J. Pearton, and R. A. Logan, Appl. Phys. Lett. 60, 289 (1992).

Stone, A. D.

C. Gmachl, F. Capasso, E. E. Narimanov, J. U. Nockel, A. D. Stone, J. Faist, D. L. Sivco, and A. Y. Cho, Science 280, 1556 (1998).

Tiberio, R. C.

J. P. Zhang, D. Y. Chu, S. L. Wu, S. T. Ho, W. G. Bi, C. W. Tu, and R. C. Tiberio, Phys. Rev. Lett. 75, 2678 (1995).

Toussaere, E.

S. X. Dou, E. Toussaere, T. Ben-Messaoud, A. Potter, D. Josse, G. Kranzelbinder, and J. Zyss, Appl. Phys. Lett. 80, 165 (2002).

Tu, C. W.

J. P. Zhang, D. Y. Chu, S. L. Wu, S. T. Ho, W. G. Bi, C. W. Tu, and R. C. Tiberio, Phys. Rev. Lett. 75, 2678 (1995).

Ushigome, R.

M. Fujita, R. Ushigome, and T. Baba, Electron. Lett. 36, 790 (2000).

Wang, Q. M.

Y. Z. Huang, W. H. Guo, and Q. M. Wang, IEEE. J. Quantum Electron. 37, 1259 (2001).

Y. Z. Huang, W. H. Guo, and Q. M. Wang, IEEE J. Quantum Electron. 37, 100 (2001).

Y. Z. Huang, W. H. Guo, and Q. M. Wang, Appl. Phys. Lett. 77, 3511 (2000).

W. H. Guo, Y. Z. Huang, and Q. M. Wang, IEEE Photon. Technol. Lett. 12, 813 (2000).

Watanabe, R.

T. Baba, P. Fujita, A. Sakai, M. Kihara, and R. Watanabe, IEEE Photon. Technol. Lett. 9, 878 (1997).

Wu, S. L.

J. P. Zhang, D. Y. Chu, S. L. Wu, S. T. Ho, W. G. Bi, C. W. Tu, and R. C. Tiberio, Phys. Rev. Lett. 75, 2678 (1995).

Zhang, J. P.

J. P. Zhang, D. Y. Chu, S. L. Wu, S. T. Ho, W. G. Bi, C. W. Tu, and R. C. Tiberio, Phys. Rev. Lett. 75, 2678 (1995).

Zyss, J.

S. X. Dou, E. Toussaere, T. Ben-Messaoud, A. Potter, D. Josse, G. Kranzelbinder, and J. Zyss, Appl. Phys. Lett. 80, 165 (2002).

Appl. Phys. Lett. (4)

S. L. McCall, A. F. Levi, R. E. Slusher, S. J. Pearton, and R. A. Logan, Appl. Phys. Lett. 60, 289 (1992).

S. X. Dou, E. Toussaere, T. Ben-Messaoud, A. Potter, D. Josse, G. Kranzelbinder, and J. Zyss, Appl. Phys. Lett. 80, 165 (2002).

M. Fujita and T. Baba, Appl. Phys. Lett. 80, 2051 (2002).

Y. Z. Huang, W. H. Guo, and Q. M. Wang, Appl. Phys. Lett. 77, 3511 (2000).

Electron. Lett. (1)

M. Fujita, R. Ushigome, and T. Baba, Electron. Lett. 36, 790 (2000).

IEEE J. Quantum Electron. (1)

Y. Z. Huang, W. H. Guo, and Q. M. Wang, IEEE J. Quantum Electron. 37, 100 (2001).

IEEE Microwave Wireless Components Lett. (1)

W. H. Guo, W. J. Li, and Y. Z. Huang, IEEE Microwave Wireless Components Lett. 11, 223 (2001).

IEEE Photon. Technol. Lett. (2)

W. H. Guo, Y. Z. Huang, and Q. M. Wang, IEEE Photon. Technol. Lett. 12, 813 (2000).

T. Baba, P. Fujita, A. Sakai, M. Kihara, and R. Watanabe, IEEE Photon. Technol. Lett. 9, 878 (1997).

IEEE. J. Quantum Electron. (1)

Y. Z. Huang, W. H. Guo, and Q. M. Wang, IEEE. J. Quantum Electron. 37, 1259 (2001).

Phys. Rev. Lett. (1)

J. P. Zhang, D. Y. Chu, S. L. Wu, S. T. Ho, W. G. Bi, C. W. Tu, and R. C. Tiberio, Phys. Rev. Lett. 75, 2678 (1995).

Science (1)

C. Gmachl, F. Capasso, E. E. Narimanov, J. U. Nockel, A. D. Stone, J. Faist, D. L. Sivco, and A. Y. Cho, Science 280, 1556 (1998).

Other (1)

M. Fujita, K. Teshima, and T. Baba, Jpn. J. Appl. Phys. Part 2, 40, L875 (2001).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.