Abstract

A two-dimensional model of a metal-semiconductor-metal (MSM) ZnO-based photodetector (PD) is developed. The PD is based on a drift diffusion model of a semiconductor that allows the calculation of potential distribution inside the structure, the transversal and longitudinal distributions of the electric field, and the distribution of carrier concentration. The ohmicity of the contact has been confirmed. The dark current of MSM PD based ZnO for different structural dimensions are likewise calculated. The calculations are comparable with the experimental results. Therefore, the influence with respect to parameters s (finger spacing) and w (finger width) is studied, which results in the optimization of these parameters. The best optimization found to concur with the experimental results is s = 16 \mu m, w = 16 \mu m, l = 250 \mu m, L = 350 \mu m, where l is the finger length and L is the length of the structure. This optimization provides a simulated dark current equal to 24.5 nA at the polarization of 3 V.

© 2011 Chinese Optics Letters

PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. K. Litvin, J. Burm, D. Woodard, W. Schaff, and L. F. Eastman, in Proceedings of IEEE MTT-S Dig. 2, 1063 (1993).
  2. S. Y. Chou and M. Y. Liu, IEEE J. Quantum Electron. 28, 2358 (1992).
  3. L. K. Wang, Z. G. Ju, C. X. Shan, J. Zheng, D. Z. Shen, B. Yao, D. X. Zhao, Z. Z. Zhang, B. H. Li, and J. Y. Zhang, Solid State Commun. 149, 2021 (2009).
  4. L. Lai and C. Lee, Mater. Chem. Phys. 110, 393 (2008).
  5. M. Ahmad, C. Pan, J. Zhao, J. Iqbal, and J. Zhu, Mater. Chem. Phys. 120, 319 (2010).
  6. T. K. Lin, S. J. Chang, Y. K. Su, B. R. Huang, M. Fujita, and Y. Horikoshi, J. Crys. Growth 281, 513 (2005).
  7. S. J. Young, L. W. Ji, S. J. Chang, and Y. K. Su, J. Crys. Growth 293, 43 (2006).
  8. S. Liang, H. Sheng, Y. Liu, Z. Huo, Y. Lu, and H. Shen, J. Crys. Growth 225, 110 (2001).
  9. D. Jiang, J. Zhang, Y. Lu, K. Liu, D. Zhao, Z. Zhang, D. Shen, and X. Fan, Solid State Electron. 52, 679 (2008).
  10. Z. Xu, H. Deng, J. Xie, Y. Li, and X. Zu, Appl. Surf. Sci. 253, 476 (2006).
  11. S. J. Young, L. W. Ji, T. H. Fang, S. J. Chang, Y. K. Su, and X. L. Du, Acta Mater. 55, 329 (2007).
  12. G. Guarino, W. R. Donaldson, M. Mikulics, M. Marso, P. Kordo?s, and R. Sobolewski, Solid State Electron. 53, 1144 (2009).
  13. J. Zhang, Y. Yang, L. Lou, and Y. Zhao, Chin. Opt. Lett. 6, 615 (2008).
  14. G. Harzallah, M. Remram, and A. Nehhas, in Proceedings of 6th Symposium SiO2, Advanced Dielectrics and Related Devices (2006).
  15. G. Harzallah and M. Remram, Mat'eriaux 13 (2006).
  16. W. S. Han, Y. Y. Kim, B. H. Kong, and H. K. Cho, Thin Solid Films 517, 5106 (2009).
  17. S. P. Chang, S. J. Chang, Y. Z. Chou, C. Y. Lu. Y. C. Lin, C. F. Kuo, and H. M. Chang, Sensor Actuat A-Phys. 140, 60 (2007).
  18. K. W. Liu, J. G. Ma, J. Y. Zhang, Y. M. Lu, D. Y. Jiang, B. H. Li, D. X. Zhao, Z. Z. Zhang, B. Yao, and D. Z. Shen, Solid State Electron. 51, 757 (2007).
  19. H. Kim and J. Lee, Superlattice Microst. 42, 255 (2007).
  20. J. H. Kim, J. Y. Moon, H. S. Lee, W. S. Han, H. K. Cho, J. Y. Lee, and H. S. Kim, Mater. Sci. Eng. B 165, 77 (2009).
  21. D. Decoster and J. Harari, Detecteur Opto'electronique (Hermes Science, Lavoisier, 2002).
  22. H. Mathieu, Physique Des Semiconducteurs et Des Composants Electroniques (Dunod, Paris, 2001).
  23. S. Averine, O. Bondarenko, and R. Sachot, Solid State Electron. 46, 2045 (2002).
  24. A. M. Nahhas, Elektrika 10, 1 (2008).
  25. Y. Dong and L. J. Brillson, J. Electron. Mater. 37, 743 (2008).

2010 (1)

M. Ahmad, C. Pan, J. Zhao, J. Iqbal, and J. Zhu, Mater. Chem. Phys. 120, 319 (2010).

2009 (4)

L. K. Wang, Z. G. Ju, C. X. Shan, J. Zheng, D. Z. Shen, B. Yao, D. X. Zhao, Z. Z. Zhang, B. H. Li, and J. Y. Zhang, Solid State Commun. 149, 2021 (2009).

G. Guarino, W. R. Donaldson, M. Mikulics, M. Marso, P. Kordo?s, and R. Sobolewski, Solid State Electron. 53, 1144 (2009).

W. S. Han, Y. Y. Kim, B. H. Kong, and H. K. Cho, Thin Solid Films 517, 5106 (2009).

J. H. Kim, J. Y. Moon, H. S. Lee, W. S. Han, H. K. Cho, J. Y. Lee, and H. S. Kim, Mater. Sci. Eng. B 165, 77 (2009).

2008 (5)

A. M. Nahhas, Elektrika 10, 1 (2008).

Y. Dong and L. J. Brillson, J. Electron. Mater. 37, 743 (2008).

J. Zhang, Y. Yang, L. Lou, and Y. Zhao, Chin. Opt. Lett. 6, 615 (2008).

D. Jiang, J. Zhang, Y. Lu, K. Liu, D. Zhao, Z. Zhang, D. Shen, and X. Fan, Solid State Electron. 52, 679 (2008).

L. Lai and C. Lee, Mater. Chem. Phys. 110, 393 (2008).

2007 (4)

S. P. Chang, S. J. Chang, Y. Z. Chou, C. Y. Lu. Y. C. Lin, C. F. Kuo, and H. M. Chang, Sensor Actuat A-Phys. 140, 60 (2007).

K. W. Liu, J. G. Ma, J. Y. Zhang, Y. M. Lu, D. Y. Jiang, B. H. Li, D. X. Zhao, Z. Z. Zhang, B. Yao, and D. Z. Shen, Solid State Electron. 51, 757 (2007).

H. Kim and J. Lee, Superlattice Microst. 42, 255 (2007).

S. J. Young, L. W. Ji, T. H. Fang, S. J. Chang, Y. K. Su, and X. L. Du, Acta Mater. 55, 329 (2007).

2006 (2)

Z. Xu, H. Deng, J. Xie, Y. Li, and X. Zu, Appl. Surf. Sci. 253, 476 (2006).

S. J. Young, L. W. Ji, S. J. Chang, and Y. K. Su, J. Crys. Growth 293, 43 (2006).

2005 (1)

T. K. Lin, S. J. Chang, Y. K. Su, B. R. Huang, M. Fujita, and Y. Horikoshi, J. Crys. Growth 281, 513 (2005).

2002 (1)

S. Averine, O. Bondarenko, and R. Sachot, Solid State Electron. 46, 2045 (2002).

2001 (1)

S. Liang, H. Sheng, Y. Liu, Z. Huo, Y. Lu, and H. Shen, J. Crys. Growth 225, 110 (2001).

1993 (1)

K. Litvin, J. Burm, D. Woodard, W. Schaff, and L. F. Eastman, in Proceedings of IEEE MTT-S Dig. 2, 1063 (1993).

1992 (1)

S. Y. Chou and M. Y. Liu, IEEE J. Quantum Electron. 28, 2358 (1992).

Ahmad, M.

M. Ahmad, C. Pan, J. Zhao, J. Iqbal, and J. Zhu, Mater. Chem. Phys. 120, 319 (2010).

Averine, S.

S. Averine, O. Bondarenko, and R. Sachot, Solid State Electron. 46, 2045 (2002).

Bondarenko, O.

S. Averine, O. Bondarenko, and R. Sachot, Solid State Electron. 46, 2045 (2002).

Brillson, L. J.

Y. Dong and L. J. Brillson, J. Electron. Mater. 37, 743 (2008).

Burm, J.

K. Litvin, J. Burm, D. Woodard, W. Schaff, and L. F. Eastman, in Proceedings of IEEE MTT-S Dig. 2, 1063 (1993).

Chang, H. M.

S. P. Chang, S. J. Chang, Y. Z. Chou, C. Y. Lu. Y. C. Lin, C. F. Kuo, and H. M. Chang, Sensor Actuat A-Phys. 140, 60 (2007).

Chang, S. J.

S. J. Young, L. W. Ji, T. H. Fang, S. J. Chang, Y. K. Su, and X. L. Du, Acta Mater. 55, 329 (2007).

S. P. Chang, S. J. Chang, Y. Z. Chou, C. Y. Lu. Y. C. Lin, C. F. Kuo, and H. M. Chang, Sensor Actuat A-Phys. 140, 60 (2007).

S. J. Young, L. W. Ji, S. J. Chang, and Y. K. Su, J. Crys. Growth 293, 43 (2006).

T. K. Lin, S. J. Chang, Y. K. Su, B. R. Huang, M. Fujita, and Y. Horikoshi, J. Crys. Growth 281, 513 (2005).

Chang, S. P.

S. P. Chang, S. J. Chang, Y. Z. Chou, C. Y. Lu. Y. C. Lin, C. F. Kuo, and H. M. Chang, Sensor Actuat A-Phys. 140, 60 (2007).

Cho, H. K.

J. H. Kim, J. Y. Moon, H. S. Lee, W. S. Han, H. K. Cho, J. Y. Lee, and H. S. Kim, Mater. Sci. Eng. B 165, 77 (2009).

W. S. Han, Y. Y. Kim, B. H. Kong, and H. K. Cho, Thin Solid Films 517, 5106 (2009).

Chou, S. Y.

S. Y. Chou and M. Y. Liu, IEEE J. Quantum Electron. 28, 2358 (1992).

Chou, Y. Z.

S. P. Chang, S. J. Chang, Y. Z. Chou, C. Y. Lu. Y. C. Lin, C. F. Kuo, and H. M. Chang, Sensor Actuat A-Phys. 140, 60 (2007).

Deng, H.

Z. Xu, H. Deng, J. Xie, Y. Li, and X. Zu, Appl. Surf. Sci. 253, 476 (2006).

Donaldson, W. R.

G. Guarino, W. R. Donaldson, M. Mikulics, M. Marso, P. Kordo?s, and R. Sobolewski, Solid State Electron. 53, 1144 (2009).

Dong, Y.

Y. Dong and L. J. Brillson, J. Electron. Mater. 37, 743 (2008).

Du, X. L.

S. J. Young, L. W. Ji, T. H. Fang, S. J. Chang, Y. K. Su, and X. L. Du, Acta Mater. 55, 329 (2007).

Eastman, L. F.

K. Litvin, J. Burm, D. Woodard, W. Schaff, and L. F. Eastman, in Proceedings of IEEE MTT-S Dig. 2, 1063 (1993).

Fan, X.

D. Jiang, J. Zhang, Y. Lu, K. Liu, D. Zhao, Z. Zhang, D. Shen, and X. Fan, Solid State Electron. 52, 679 (2008).

Fang, T. H.

S. J. Young, L. W. Ji, T. H. Fang, S. J. Chang, Y. K. Su, and X. L. Du, Acta Mater. 55, 329 (2007).

Fujita, M.

T. K. Lin, S. J. Chang, Y. K. Su, B. R. Huang, M. Fujita, and Y. Horikoshi, J. Crys. Growth 281, 513 (2005).

Guarino, G.

G. Guarino, W. R. Donaldson, M. Mikulics, M. Marso, P. Kordo?s, and R. Sobolewski, Solid State Electron. 53, 1144 (2009).

Han, W. S.

W. S. Han, Y. Y. Kim, B. H. Kong, and H. K. Cho, Thin Solid Films 517, 5106 (2009).

J. H. Kim, J. Y. Moon, H. S. Lee, W. S. Han, H. K. Cho, J. Y. Lee, and H. S. Kim, Mater. Sci. Eng. B 165, 77 (2009).

Horikoshi, Y.

T. K. Lin, S. J. Chang, Y. K. Su, B. R. Huang, M. Fujita, and Y. Horikoshi, J. Crys. Growth 281, 513 (2005).

Huang, B. R.

T. K. Lin, S. J. Chang, Y. K. Su, B. R. Huang, M. Fujita, and Y. Horikoshi, J. Crys. Growth 281, 513 (2005).

Huo, Z.

S. Liang, H. Sheng, Y. Liu, Z. Huo, Y. Lu, and H. Shen, J. Crys. Growth 225, 110 (2001).

Iqbal, J.

M. Ahmad, C. Pan, J. Zhao, J. Iqbal, and J. Zhu, Mater. Chem. Phys. 120, 319 (2010).

Ji, L. W.

S. J. Young, L. W. Ji, T. H. Fang, S. J. Chang, Y. K. Su, and X. L. Du, Acta Mater. 55, 329 (2007).

S. J. Young, L. W. Ji, S. J. Chang, and Y. K. Su, J. Crys. Growth 293, 43 (2006).

Jiang, D.

D. Jiang, J. Zhang, Y. Lu, K. Liu, D. Zhao, Z. Zhang, D. Shen, and X. Fan, Solid State Electron. 52, 679 (2008).

Jiang, D. Y.

K. W. Liu, J. G. Ma, J. Y. Zhang, Y. M. Lu, D. Y. Jiang, B. H. Li, D. X. Zhao, Z. Z. Zhang, B. Yao, and D. Z. Shen, Solid State Electron. 51, 757 (2007).

Ju, Z. G.

L. K. Wang, Z. G. Ju, C. X. Shan, J. Zheng, D. Z. Shen, B. Yao, D. X. Zhao, Z. Z. Zhang, B. H. Li, and J. Y. Zhang, Solid State Commun. 149, 2021 (2009).

Kim, H.

H. Kim and J. Lee, Superlattice Microst. 42, 255 (2007).

Kim, H. S.

J. H. Kim, J. Y. Moon, H. S. Lee, W. S. Han, H. K. Cho, J. Y. Lee, and H. S. Kim, Mater. Sci. Eng. B 165, 77 (2009).

Kim, J. H.

J. H. Kim, J. Y. Moon, H. S. Lee, W. S. Han, H. K. Cho, J. Y. Lee, and H. S. Kim, Mater. Sci. Eng. B 165, 77 (2009).

Kim, Y. Y.

W. S. Han, Y. Y. Kim, B. H. Kong, and H. K. Cho, Thin Solid Films 517, 5106 (2009).

Kong, B. H.

W. S. Han, Y. Y. Kim, B. H. Kong, and H. K. Cho, Thin Solid Films 517, 5106 (2009).

Kordo?s, P.

G. Guarino, W. R. Donaldson, M. Mikulics, M. Marso, P. Kordo?s, and R. Sobolewski, Solid State Electron. 53, 1144 (2009).

Kuo, C. F.

S. P. Chang, S. J. Chang, Y. Z. Chou, C. Y. Lu. Y. C. Lin, C. F. Kuo, and H. M. Chang, Sensor Actuat A-Phys. 140, 60 (2007).

Lai, L.

L. Lai and C. Lee, Mater. Chem. Phys. 110, 393 (2008).

Lee, C.

L. Lai and C. Lee, Mater. Chem. Phys. 110, 393 (2008).

Lee, H. S.

J. H. Kim, J. Y. Moon, H. S. Lee, W. S. Han, H. K. Cho, J. Y. Lee, and H. S. Kim, Mater. Sci. Eng. B 165, 77 (2009).

Lee, J.

H. Kim and J. Lee, Superlattice Microst. 42, 255 (2007).

Lee, J. Y.

J. H. Kim, J. Y. Moon, H. S. Lee, W. S. Han, H. K. Cho, J. Y. Lee, and H. S. Kim, Mater. Sci. Eng. B 165, 77 (2009).

Li, B. H.

L. K. Wang, Z. G. Ju, C. X. Shan, J. Zheng, D. Z. Shen, B. Yao, D. X. Zhao, Z. Z. Zhang, B. H. Li, and J. Y. Zhang, Solid State Commun. 149, 2021 (2009).

K. W. Liu, J. G. Ma, J. Y. Zhang, Y. M. Lu, D. Y. Jiang, B. H. Li, D. X. Zhao, Z. Z. Zhang, B. Yao, and D. Z. Shen, Solid State Electron. 51, 757 (2007).

Li, Y.

Z. Xu, H. Deng, J. Xie, Y. Li, and X. Zu, Appl. Surf. Sci. 253, 476 (2006).

Liang, S.

S. Liang, H. Sheng, Y. Liu, Z. Huo, Y. Lu, and H. Shen, J. Crys. Growth 225, 110 (2001).

Lin, C. Y. Lu. Y. C.

S. P. Chang, S. J. Chang, Y. Z. Chou, C. Y. Lu. Y. C. Lin, C. F. Kuo, and H. M. Chang, Sensor Actuat A-Phys. 140, 60 (2007).

Lin, T. K.

T. K. Lin, S. J. Chang, Y. K. Su, B. R. Huang, M. Fujita, and Y. Horikoshi, J. Crys. Growth 281, 513 (2005).

Litvin, K.

K. Litvin, J. Burm, D. Woodard, W. Schaff, and L. F. Eastman, in Proceedings of IEEE MTT-S Dig. 2, 1063 (1993).

Liu, K.

D. Jiang, J. Zhang, Y. Lu, K. Liu, D. Zhao, Z. Zhang, D. Shen, and X. Fan, Solid State Electron. 52, 679 (2008).

Liu, K. W.

K. W. Liu, J. G. Ma, J. Y. Zhang, Y. M. Lu, D. Y. Jiang, B. H. Li, D. X. Zhao, Z. Z. Zhang, B. Yao, and D. Z. Shen, Solid State Electron. 51, 757 (2007).

Liu, M. Y.

S. Y. Chou and M. Y. Liu, IEEE J. Quantum Electron. 28, 2358 (1992).

Liu, Y.

S. Liang, H. Sheng, Y. Liu, Z. Huo, Y. Lu, and H. Shen, J. Crys. Growth 225, 110 (2001).

Lou, L.

Lu, Y.

D. Jiang, J. Zhang, Y. Lu, K. Liu, D. Zhao, Z. Zhang, D. Shen, and X. Fan, Solid State Electron. 52, 679 (2008).

S. Liang, H. Sheng, Y. Liu, Z. Huo, Y. Lu, and H. Shen, J. Crys. Growth 225, 110 (2001).

Lu, Y. M.

K. W. Liu, J. G. Ma, J. Y. Zhang, Y. M. Lu, D. Y. Jiang, B. H. Li, D. X. Zhao, Z. Z. Zhang, B. Yao, and D. Z. Shen, Solid State Electron. 51, 757 (2007).

Ma, J. G.

K. W. Liu, J. G. Ma, J. Y. Zhang, Y. M. Lu, D. Y. Jiang, B. H. Li, D. X. Zhao, Z. Z. Zhang, B. Yao, and D. Z. Shen, Solid State Electron. 51, 757 (2007).

Marso, M.

G. Guarino, W. R. Donaldson, M. Mikulics, M. Marso, P. Kordo?s, and R. Sobolewski, Solid State Electron. 53, 1144 (2009).

Mikulics, M.

G. Guarino, W. R. Donaldson, M. Mikulics, M. Marso, P. Kordo?s, and R. Sobolewski, Solid State Electron. 53, 1144 (2009).

Moon, J. Y.

J. H. Kim, J. Y. Moon, H. S. Lee, W. S. Han, H. K. Cho, J. Y. Lee, and H. S. Kim, Mater. Sci. Eng. B 165, 77 (2009).

Nahhas, A. M.

A. M. Nahhas, Elektrika 10, 1 (2008).

Pan, C.

M. Ahmad, C. Pan, J. Zhao, J. Iqbal, and J. Zhu, Mater. Chem. Phys. 120, 319 (2010).

Sachot, R.

S. Averine, O. Bondarenko, and R. Sachot, Solid State Electron. 46, 2045 (2002).

Schaff, W.

K. Litvin, J. Burm, D. Woodard, W. Schaff, and L. F. Eastman, in Proceedings of IEEE MTT-S Dig. 2, 1063 (1993).

Shan, C. X.

L. K. Wang, Z. G. Ju, C. X. Shan, J. Zheng, D. Z. Shen, B. Yao, D. X. Zhao, Z. Z. Zhang, B. H. Li, and J. Y. Zhang, Solid State Commun. 149, 2021 (2009).

Shen, D.

D. Jiang, J. Zhang, Y. Lu, K. Liu, D. Zhao, Z. Zhang, D. Shen, and X. Fan, Solid State Electron. 52, 679 (2008).

Shen, D. Z.

L. K. Wang, Z. G. Ju, C. X. Shan, J. Zheng, D. Z. Shen, B. Yao, D. X. Zhao, Z. Z. Zhang, B. H. Li, and J. Y. Zhang, Solid State Commun. 149, 2021 (2009).

K. W. Liu, J. G. Ma, J. Y. Zhang, Y. M. Lu, D. Y. Jiang, B. H. Li, D. X. Zhao, Z. Z. Zhang, B. Yao, and D. Z. Shen, Solid State Electron. 51, 757 (2007).

Shen, H.

S. Liang, H. Sheng, Y. Liu, Z. Huo, Y. Lu, and H. Shen, J. Crys. Growth 225, 110 (2001).

Sheng, H.

S. Liang, H. Sheng, Y. Liu, Z. Huo, Y. Lu, and H. Shen, J. Crys. Growth 225, 110 (2001).

Sobolewski, R.

G. Guarino, W. R. Donaldson, M. Mikulics, M. Marso, P. Kordo?s, and R. Sobolewski, Solid State Electron. 53, 1144 (2009).

Su, Y. K.

S. J. Young, L. W. Ji, T. H. Fang, S. J. Chang, Y. K. Su, and X. L. Du, Acta Mater. 55, 329 (2007).

S. J. Young, L. W. Ji, S. J. Chang, and Y. K. Su, J. Crys. Growth 293, 43 (2006).

T. K. Lin, S. J. Chang, Y. K. Su, B. R. Huang, M. Fujita, and Y. Horikoshi, J. Crys. Growth 281, 513 (2005).

Wang, L. K.

L. K. Wang, Z. G. Ju, C. X. Shan, J. Zheng, D. Z. Shen, B. Yao, D. X. Zhao, Z. Z. Zhang, B. H. Li, and J. Y. Zhang, Solid State Commun. 149, 2021 (2009).

Woodard, D.

K. Litvin, J. Burm, D. Woodard, W. Schaff, and L. F. Eastman, in Proceedings of IEEE MTT-S Dig. 2, 1063 (1993).

Xie, J.

Z. Xu, H. Deng, J. Xie, Y. Li, and X. Zu, Appl. Surf. Sci. 253, 476 (2006).

Xu, Z.

Z. Xu, H. Deng, J. Xie, Y. Li, and X. Zu, Appl. Surf. Sci. 253, 476 (2006).

Yang, Y.

Yao, B.

L. K. Wang, Z. G. Ju, C. X. Shan, J. Zheng, D. Z. Shen, B. Yao, D. X. Zhao, Z. Z. Zhang, B. H. Li, and J. Y. Zhang, Solid State Commun. 149, 2021 (2009).

K. W. Liu, J. G. Ma, J. Y. Zhang, Y. M. Lu, D. Y. Jiang, B. H. Li, D. X. Zhao, Z. Z. Zhang, B. Yao, and D. Z. Shen, Solid State Electron. 51, 757 (2007).

Young, S. J.

S. J. Young, L. W. Ji, T. H. Fang, S. J. Chang, Y. K. Su, and X. L. Du, Acta Mater. 55, 329 (2007).

S. J. Young, L. W. Ji, S. J. Chang, and Y. K. Su, J. Crys. Growth 293, 43 (2006).

Zhang, J.

D. Jiang, J. Zhang, Y. Lu, K. Liu, D. Zhao, Z. Zhang, D. Shen, and X. Fan, Solid State Electron. 52, 679 (2008).

J. Zhang, Y. Yang, L. Lou, and Y. Zhao, Chin. Opt. Lett. 6, 615 (2008).

Zhang, J. Y.

L. K. Wang, Z. G. Ju, C. X. Shan, J. Zheng, D. Z. Shen, B. Yao, D. X. Zhao, Z. Z. Zhang, B. H. Li, and J. Y. Zhang, Solid State Commun. 149, 2021 (2009).

K. W. Liu, J. G. Ma, J. Y. Zhang, Y. M. Lu, D. Y. Jiang, B. H. Li, D. X. Zhao, Z. Z. Zhang, B. Yao, and D. Z. Shen, Solid State Electron. 51, 757 (2007).

Zhang, Z.

D. Jiang, J. Zhang, Y. Lu, K. Liu, D. Zhao, Z. Zhang, D. Shen, and X. Fan, Solid State Electron. 52, 679 (2008).

Zhang, Z. Z.

L. K. Wang, Z. G. Ju, C. X. Shan, J. Zheng, D. Z. Shen, B. Yao, D. X. Zhao, Z. Z. Zhang, B. H. Li, and J. Y. Zhang, Solid State Commun. 149, 2021 (2009).

K. W. Liu, J. G. Ma, J. Y. Zhang, Y. M. Lu, D. Y. Jiang, B. H. Li, D. X. Zhao, Z. Z. Zhang, B. Yao, and D. Z. Shen, Solid State Electron. 51, 757 (2007).

Zhao, D.

D. Jiang, J. Zhang, Y. Lu, K. Liu, D. Zhao, Z. Zhang, D. Shen, and X. Fan, Solid State Electron. 52, 679 (2008).

Zhao, D. X.

L. K. Wang, Z. G. Ju, C. X. Shan, J. Zheng, D. Z. Shen, B. Yao, D. X. Zhao, Z. Z. Zhang, B. H. Li, and J. Y. Zhang, Solid State Commun. 149, 2021 (2009).

K. W. Liu, J. G. Ma, J. Y. Zhang, Y. M. Lu, D. Y. Jiang, B. H. Li, D. X. Zhao, Z. Z. Zhang, B. Yao, and D. Z. Shen, Solid State Electron. 51, 757 (2007).

Zhao, J.

M. Ahmad, C. Pan, J. Zhao, J. Iqbal, and J. Zhu, Mater. Chem. Phys. 120, 319 (2010).

Zhao, Y.

Zheng, J.

L. K. Wang, Z. G. Ju, C. X. Shan, J. Zheng, D. Z. Shen, B. Yao, D. X. Zhao, Z. Z. Zhang, B. H. Li, and J. Y. Zhang, Solid State Commun. 149, 2021 (2009).

Zhu, J.

M. Ahmad, C. Pan, J. Zhao, J. Iqbal, and J. Zhu, Mater. Chem. Phys. 120, 319 (2010).

Zu, X.

Z. Xu, H. Deng, J. Xie, Y. Li, and X. Zu, Appl. Surf. Sci. 253, 476 (2006).

Acta Mater. (1)

S. J. Young, L. W. Ji, T. H. Fang, S. J. Chang, Y. K. Su, and X. L. Du, Acta Mater. 55, 329 (2007).

Appl. Surf. Sci. (1)

Z. Xu, H. Deng, J. Xie, Y. Li, and X. Zu, Appl. Surf. Sci. 253, 476 (2006).

Chin. Opt. Lett. (1)

Elektrika (1)

A. M. Nahhas, Elektrika 10, 1 (2008).

IEEE J. Quantum Electron. (1)

S. Y. Chou and M. Y. Liu, IEEE J. Quantum Electron. 28, 2358 (1992).

in Proceedings of IEEE MTT-S Dig. (1)

K. Litvin, J. Burm, D. Woodard, W. Schaff, and L. F. Eastman, in Proceedings of IEEE MTT-S Dig. 2, 1063 (1993).

J. Crys. Growth (3)

T. K. Lin, S. J. Chang, Y. K. Su, B. R. Huang, M. Fujita, and Y. Horikoshi, J. Crys. Growth 281, 513 (2005).

S. J. Young, L. W. Ji, S. J. Chang, and Y. K. Su, J. Crys. Growth 293, 43 (2006).

S. Liang, H. Sheng, Y. Liu, Z. Huo, Y. Lu, and H. Shen, J. Crys. Growth 225, 110 (2001).

J. Electron. Mater. (1)

Y. Dong and L. J. Brillson, J. Electron. Mater. 37, 743 (2008).

Mater. Chem. Phys. (2)

L. Lai and C. Lee, Mater. Chem. Phys. 110, 393 (2008).

M. Ahmad, C. Pan, J. Zhao, J. Iqbal, and J. Zhu, Mater. Chem. Phys. 120, 319 (2010).

Mater. Sci. Eng. B (1)

J. H. Kim, J. Y. Moon, H. S. Lee, W. S. Han, H. K. Cho, J. Y. Lee, and H. S. Kim, Mater. Sci. Eng. B 165, 77 (2009).

Sensor Actuat A-Phys. (1)

S. P. Chang, S. J. Chang, Y. Z. Chou, C. Y. Lu. Y. C. Lin, C. F. Kuo, and H. M. Chang, Sensor Actuat A-Phys. 140, 60 (2007).

Solid State Commun. (1)

L. K. Wang, Z. G. Ju, C. X. Shan, J. Zheng, D. Z. Shen, B. Yao, D. X. Zhao, Z. Z. Zhang, B. H. Li, and J. Y. Zhang, Solid State Commun. 149, 2021 (2009).

Solid State Electron. (4)

D. Jiang, J. Zhang, Y. Lu, K. Liu, D. Zhao, Z. Zhang, D. Shen, and X. Fan, Solid State Electron. 52, 679 (2008).

K. W. Liu, J. G. Ma, J. Y. Zhang, Y. M. Lu, D. Y. Jiang, B. H. Li, D. X. Zhao, Z. Z. Zhang, B. Yao, and D. Z. Shen, Solid State Electron. 51, 757 (2007).

G. Guarino, W. R. Donaldson, M. Mikulics, M. Marso, P. Kordo?s, and R. Sobolewski, Solid State Electron. 53, 1144 (2009).

S. Averine, O. Bondarenko, and R. Sachot, Solid State Electron. 46, 2045 (2002).

Superlattice Microst. (1)

H. Kim and J. Lee, Superlattice Microst. 42, 255 (2007).

Thin Solid Films (1)

W. S. Han, Y. Y. Kim, B. H. Kong, and H. K. Cho, Thin Solid Films 517, 5106 (2009).

Other (4)

D. Decoster and J. Harari, Detecteur Opto'electronique (Hermes Science, Lavoisier, 2002).

H. Mathieu, Physique Des Semiconducteurs et Des Composants Electroniques (Dunod, Paris, 2001).

G. Harzallah, M. Remram, and A. Nehhas, in Proceedings of 6th Symposium SiO2, Advanced Dielectrics and Related Devices (2006).

G. Harzallah and M. Remram, Mat'eriaux 13 (2006).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.