Abstract

We compare the reflectance and stability of multilayers comprising either Si/Mo, Si/Mo2C, Si/B4C, Si/C, or Si/SiC bilayers, designed for use as extreme-ultraviolet (EUV) reflective coatings. The films were deposited by using magnetron sputtering and characterized by both x-ray and EUV reflectometry. We find that the new Si/SiC multilayer offers the greatest spectral selectivity at the longer wavelengths, as well as the greatest thermal stability. We also describe the optimization of multilayers designed for the Solar-B EIS instrument. Finally, we compare experimental reflectance data with calculations and conclude that currently available optical constants cannot be used to adequately model the performance of many of these multilayers.

© 2004 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. D. G. Stearns, M. B. Stearns, Y. Cheng, J. H. Stith, N. M. Ceglio, “Thermally induced structural modification of Mo-Si multilayers,” J. App. Phys. 67, 2415–2427 (1990).
    [CrossRef]
  2. J. M. Slaughter, A. Shapiro, P. A. Kearney, C. M. Falco, “Growth of molybdenum on silicon: structure and interface formation,” Phys. Rev. B 44, 3854–3763 (1991).
    [CrossRef]
  3. D. L. Windt, R. Hull, W. K. Waskiewicz, “Interface imperfections in metal/Si multilayers,” J. Appl. Phys. 71, 2675–2678 (1992).
    [CrossRef]
  4. J. M. Slaughter, B. S. Medower, R. N. Watts, C. Tarrio, T. B. Lucatorto, C. M. Falco, “Si/B4C narrow-bandpass mirrors for the extreme ultraviolet,” Opt. Lett. 19, 1786–1788 (1994).
    [CrossRef] [PubMed]
  5. M. Grigonis, E. J. Knystautas, “C/Si multilayer mirrors for the 25–30 nm wavelength region,” Appl. Opt. 36, 2839–2842 (1997).
    [CrossRef] [PubMed]
  6. M. Malinovsky, L. Heroux, “An analysis of the solar extreme-ultraviolet spectrum between 50 and 300 Å,” Astrophys. J. 181, 1009–1030 (1973).
    [CrossRef]
  7. G. A. Doschek, R. D. Cowan, “A solar spectral line list between 10 and 200 Å modified for application to high spectral resolution x-ray astronomy,” Astrophys. J. Suppl. 56, 67–89 (1984).
    [CrossRef]
  8. R. J. Thomas, W. M. Neupert, “Extreme ultraviolet spectrum of a solar active region from SERTS,” Astrophys. J. Suppl. 91, 461–482 (1994).
    [CrossRef]
  9. J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunaud, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Lemen, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Solar Phys. 162, 291–312 (1995).
    [CrossRef]
  10. B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
    [CrossRef]
  11. L. Golub, J. M. Pasachoff, The Solar Corona (Cambridge U. Press, Cambridge, UK, 1997), chap. 8.
  12. J. Seely, “Multilayer grating for the extreme ultraviolet spectrometer (EIS),” in X-Ray Optics, Instruments, and Missions IV, R. B. Hoover, A. B. Walker, eds., Proc. SPIE4138, 174–181 (2002).
    [CrossRef]
  13. D. L. Windt, W. K. Waskiewicz, “Multilayer facilities required for extreme-ultraviolet lithography,” J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3826–3832 (1994).
    [CrossRef]
  14. D. L. Windt, “IMD — software for modeling the optical properties of multilayer films” Comput. Phys. 12, 360–370 (1998).
    [CrossRef]
  15. J. H. Underwood, E. M. Gullikson, M. Koike, P. J. Batson, P. E. Denham, K. D. Franck, R. E. Tackaberry, W. F. Steele, “Calibration and standards beamline 6.3.2 at the Advanced Light Source,” Rev. Sci. Inst. 67, 3372 (1996).
    [CrossRef]
  16. Solar Orbiter Pre-Assessment Study Report, October1999, http://zeus.nascom.nasa.gov/∼bfleck/Orbiter/Documents/pre_assess_rep.pdf .
  17. These EUV reflectance data were obtained by use of the laser-plasma-based reflectometer described above; in this case no adjustments to the wavelength scales were made.
  18. D. L. Windt, F. E. Christensen, W. W. Craig, C. Hailey, F. A. Harrison, M. Jimenez-Garate, R. Kalyanaraman, P. H. Mao, “Growth, structure and performance of depth-graded W/Si multilayers for hard X-ray optics,” J. Appl. Phys. 88, 460–470 (2000).
    [CrossRef]
  19. D. L. Windt, W. L. Brown, C. A. Volkert, W. K. Waskiewicz, “Variation in stress with background pressure in sputtered Mo/Si multilayer films,” J. Appl. Phys. 78, 2423–2430 (1995).
    [CrossRef]
  20. J. Dalla Torre, G. H. Gilmer, D. L. Windt, R. Kalyanaraman, F. H. Bauman, P. L. O’Sullivan, J. Sapjeta, T. Diaz de la Rubia, M. Djafari Rouhani, “Microstructure of thin tantalum films sputtered onto inclined substrates: experiments and atomistic simulations,” J. App. Phys. 94, 263–271 (2003).
    [CrossRef]
  21. B. L. Henke, E. M. Gullikson, J. C. Davis, “X-ray interactions: photabsorption, scattering, transmission, and reflection at E = 50–30,000 eV, Z = 1–92,” At. Data Nuclear Data Tables 54, 181–342 (1993).
    [CrossRef]
  22. C. Tarrio, R. N. Watts, T. B. Lucatorto, J. M. Slaughter, C. M. Falco, “Optical constants of in situ deposited films of important extreme-ultraviolet multilayer mirror materials,” App. Opt. 37, 4100–4104 (1998).
    [CrossRef]
  23. D. L. Windt, W. Cash, M. Scott, P. Arendt, B. Newnam, R. F. Fisher, A. B. Swartzlander, M. Pinneo, P. Z. Takacs, “Optical constants for thin films of C, diamond, Al, Si, and CVD-SiC from 24 Å to 1216 Å,” Appl. Opt. 27, 279–295 (1988).
    [CrossRef] [PubMed]
  24. D. L. Windt, “Low-stress W/Cr bilayer films for use as SCALPEL® mask scattering layers,” J. Vac. Sci. Tech. B 17, 1385–1389 (1999).
    [CrossRef]

2003 (1)

J. Dalla Torre, G. H. Gilmer, D. L. Windt, R. Kalyanaraman, F. H. Bauman, P. L. O’Sullivan, J. Sapjeta, T. Diaz de la Rubia, M. Djafari Rouhani, “Microstructure of thin tantalum films sputtered onto inclined substrates: experiments and atomistic simulations,” J. App. Phys. 94, 263–271 (2003).
[CrossRef]

2000 (1)

D. L. Windt, F. E. Christensen, W. W. Craig, C. Hailey, F. A. Harrison, M. Jimenez-Garate, R. Kalyanaraman, P. H. Mao, “Growth, structure and performance of depth-graded W/Si multilayers for hard X-ray optics,” J. Appl. Phys. 88, 460–470 (2000).
[CrossRef]

1999 (2)

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

D. L. Windt, “Low-stress W/Cr bilayer films for use as SCALPEL® mask scattering layers,” J. Vac. Sci. Tech. B 17, 1385–1389 (1999).
[CrossRef]

1998 (2)

D. L. Windt, “IMD — software for modeling the optical properties of multilayer films” Comput. Phys. 12, 360–370 (1998).
[CrossRef]

C. Tarrio, R. N. Watts, T. B. Lucatorto, J. M. Slaughter, C. M. Falco, “Optical constants of in situ deposited films of important extreme-ultraviolet multilayer mirror materials,” App. Opt. 37, 4100–4104 (1998).
[CrossRef]

1997 (1)

1996 (1)

J. H. Underwood, E. M. Gullikson, M. Koike, P. J. Batson, P. E. Denham, K. D. Franck, R. E. Tackaberry, W. F. Steele, “Calibration and standards beamline 6.3.2 at the Advanced Light Source,” Rev. Sci. Inst. 67, 3372 (1996).
[CrossRef]

1995 (2)

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunaud, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Lemen, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Solar Phys. 162, 291–312 (1995).
[CrossRef]

D. L. Windt, W. L. Brown, C. A. Volkert, W. K. Waskiewicz, “Variation in stress with background pressure in sputtered Mo/Si multilayer films,” J. Appl. Phys. 78, 2423–2430 (1995).
[CrossRef]

1994 (3)

R. J. Thomas, W. M. Neupert, “Extreme ultraviolet spectrum of a solar active region from SERTS,” Astrophys. J. Suppl. 91, 461–482 (1994).
[CrossRef]

D. L. Windt, W. K. Waskiewicz, “Multilayer facilities required for extreme-ultraviolet lithography,” J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3826–3832 (1994).
[CrossRef]

J. M. Slaughter, B. S. Medower, R. N. Watts, C. Tarrio, T. B. Lucatorto, C. M. Falco, “Si/B4C narrow-bandpass mirrors for the extreme ultraviolet,” Opt. Lett. 19, 1786–1788 (1994).
[CrossRef] [PubMed]

1993 (1)

B. L. Henke, E. M. Gullikson, J. C. Davis, “X-ray interactions: photabsorption, scattering, transmission, and reflection at E = 50–30,000 eV, Z = 1–92,” At. Data Nuclear Data Tables 54, 181–342 (1993).
[CrossRef]

1992 (1)

D. L. Windt, R. Hull, W. K. Waskiewicz, “Interface imperfections in metal/Si multilayers,” J. Appl. Phys. 71, 2675–2678 (1992).
[CrossRef]

1991 (1)

J. M. Slaughter, A. Shapiro, P. A. Kearney, C. M. Falco, “Growth of molybdenum on silicon: structure and interface formation,” Phys. Rev. B 44, 3854–3763 (1991).
[CrossRef]

1990 (1)

D. G. Stearns, M. B. Stearns, Y. Cheng, J. H. Stith, N. M. Ceglio, “Thermally induced structural modification of Mo-Si multilayers,” J. App. Phys. 67, 2415–2427 (1990).
[CrossRef]

1988 (1)

1984 (1)

G. A. Doschek, R. D. Cowan, “A solar spectral line list between 10 and 200 Å modified for application to high spectral resolution x-ray astronomy,” Astrophys. J. Suppl. 56, 67–89 (1984).
[CrossRef]

1973 (1)

M. Malinovsky, L. Heroux, “An analysis of the solar extreme-ultraviolet spectrum between 50 and 300 Å,” Astrophys. J. 181, 1009–1030 (1973).
[CrossRef]

Acton, L. W.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Akin, D. J.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Amato, D.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Arendt, P.

Artzner, G. E.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunaud, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Lemen, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Solar Phys. 162, 291–312 (1995).
[CrossRef]

Au, B.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunaud, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Lemen, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Solar Phys. 162, 291–312 (1995).
[CrossRef]

Batson, P. J.

J. H. Underwood, E. M. Gullikson, M. Koike, P. J. Batson, P. E. Denham, K. D. Franck, R. E. Tackaberry, W. F. Steele, “Calibration and standards beamline 6.3.2 at the Advanced Light Source,” Rev. Sci. Inst. 67, 3372 (1996).
[CrossRef]

Bauman, F. H.

J. Dalla Torre, G. H. Gilmer, D. L. Windt, R. Kalyanaraman, F. H. Bauman, P. L. O’Sullivan, J. Sapjeta, T. Diaz de la Rubia, M. Djafari Rouhani, “Microstructure of thin tantalum films sputtered onto inclined substrates: experiments and atomistic simulations,” J. App. Phys. 94, 263–271 (2003).
[CrossRef]

Bookbinder, J. A.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Brown, W. L.

D. L. Windt, W. L. Brown, C. A. Volkert, W. K. Waskiewicz, “Variation in stress with background pressure in sputtered Mo/Si multilayer films,” J. Appl. Phys. 78, 2423–2430 (1995).
[CrossRef]

Brunaud, J.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunaud, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Lemen, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Solar Phys. 162, 291–312 (1995).
[CrossRef]

Bruner, M. E.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Caldwell, D.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Caravalho, R.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Cash, W.

Catura, R. C.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunaud, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Lemen, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Solar Phys. 162, 291–312 (1995).
[CrossRef]

Ceglio, N. M.

D. G. Stearns, M. B. Stearns, Y. Cheng, J. H. Stith, N. M. Ceglio, “Thermally induced structural modification of Mo-Si multilayers,” J. App. Phys. 67, 2415–2427 (1990).
[CrossRef]

Chauvineau, J. P.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunaud, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Lemen, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Solar Phys. 162, 291–312 (1995).
[CrossRef]

Cheimets, P. N.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Cheng, Y.

D. G. Stearns, M. B. Stearns, Y. Cheng, J. H. Stith, N. M. Ceglio, “Thermally induced structural modification of Mo-Si multilayers,” J. App. Phys. 67, 2415–2427 (1990).
[CrossRef]

Chevalier, R.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Christensen, F. E.

D. L. Windt, F. E. Christensen, W. W. Craig, C. Hailey, F. A. Harrison, M. Jimenez-Garate, R. Kalyanaraman, P. H. Mao, “Growth, structure and performance of depth-graded W/Si multilayers for hard X-ray optics,” J. Appl. Phys. 88, 460–470 (2000).
[CrossRef]

Clette, F.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunaud, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Lemen, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Solar Phys. 162, 291–312 (1995).
[CrossRef]

Cowan, R. D.

G. A. Doschek, R. D. Cowan, “A solar spectral line list between 10 and 200 Å modified for application to high spectral resolution x-ray astronomy,” Astrophys. J. Suppl. 56, 67–89 (1984).
[CrossRef]

Craig, W. W.

D. L. Windt, F. E. Christensen, W. W. Craig, C. Hailey, F. A. Harrison, M. Jimenez-Garate, R. Kalyanaraman, P. H. Mao, “Growth, structure and performance of depth-graded W/Si multilayers for hard X-ray optics,” J. Appl. Phys. 88, 460–470 (2000).
[CrossRef]

Cugnon, P.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunaud, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Lemen, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Solar Phys. 162, 291–312 (1995).
[CrossRef]

Dalla Torre, J.

J. Dalla Torre, G. H. Gilmer, D. L. Windt, R. Kalyanaraman, F. H. Bauman, P. L. O’Sullivan, J. Sapjeta, T. Diaz de la Rubia, M. Djafari Rouhani, “Microstructure of thin tantalum films sputtered onto inclined substrates: experiments and atomistic simulations,” J. App. Phys. 94, 263–271 (2003).
[CrossRef]

Davis, J. C.

B. L. Henke, E. M. Gullikson, J. C. Davis, “X-ray interactions: photabsorption, scattering, transmission, and reflection at E = 50–30,000 eV, Z = 1–92,” At. Data Nuclear Data Tables 54, 181–342 (1993).
[CrossRef]

Davis, W. N.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Defise, J. M.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunaud, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Lemen, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Solar Phys. 162, 291–312 (1995).
[CrossRef]

Delaboudinière, J. P.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunaud, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Lemen, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Solar Phys. 162, 291–312 (1995).
[CrossRef]

DeLuca, E. E.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Denham, P. E.

J. H. Underwood, E. M. Gullikson, M. Koike, P. J. Batson, P. E. Denham, K. D. Franck, R. E. Tackaberry, W. F. Steele, “Calibration and standards beamline 6.3.2 at the Advanced Light Source,” Rev. Sci. Inst. 67, 3372 (1996).
[CrossRef]

Dere, K. P.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunaud, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Lemen, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Solar Phys. 162, 291–312 (1995).
[CrossRef]

Diaz de la Rubia, T.

J. Dalla Torre, G. H. Gilmer, D. L. Windt, R. Kalyanaraman, F. H. Bauman, P. L. O’Sullivan, J. Sapjeta, T. Diaz de la Rubia, M. Djafari Rouhani, “Microstructure of thin tantalum films sputtered onto inclined substrates: experiments and atomistic simulations,” J. App. Phys. 94, 263–271 (2003).
[CrossRef]

Djafari Rouhani, M.

J. Dalla Torre, G. H. Gilmer, D. L. Windt, R. Kalyanaraman, F. H. Bauman, P. L. O’Sullivan, J. Sapjeta, T. Diaz de la Rubia, M. Djafari Rouhani, “Microstructure of thin tantalum films sputtered onto inclined substrates: experiments and atomistic simulations,” J. App. Phys. 94, 263–271 (2003).
[CrossRef]

Doschek, G. A.

G. A. Doschek, R. D. Cowan, “A solar spectral line list between 10 and 200 Å modified for application to high spectral resolution x-ray astronomy,” Astrophys. J. Suppl. 56, 67–89 (1984).
[CrossRef]

Duncan, D. W.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Edwards, C. G.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Falco, C. M.

C. Tarrio, R. N. Watts, T. B. Lucatorto, J. M. Slaughter, C. M. Falco, “Optical constants of in situ deposited films of important extreme-ultraviolet multilayer mirror materials,” App. Opt. 37, 4100–4104 (1998).
[CrossRef]

J. M. Slaughter, B. S. Medower, R. N. Watts, C. Tarrio, T. B. Lucatorto, C. M. Falco, “Si/B4C narrow-bandpass mirrors for the extreme ultraviolet,” Opt. Lett. 19, 1786–1788 (1994).
[CrossRef] [PubMed]

J. M. Slaughter, A. Shapiro, P. A. Kearney, C. M. Falco, “Growth of molybdenum on silicon: structure and interface formation,” Phys. Rev. B 44, 3854–3763 (1991).
[CrossRef]

Feinstein, C. N.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Fisher, R.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Fisher, R. F.

Franck, K. D.

J. H. Underwood, E. M. Gullikson, M. Koike, P. J. Batson, P. E. Denham, K. D. Franck, R. E. Tackaberry, W. F. Steele, “Calibration and standards beamline 6.3.2 at the Advanced Light Source,” Rev. Sci. Inst. 67, 3372 (1996).
[CrossRef]

Freeland, S. L.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Friedlander, F. M.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Gabriel, A. H.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunaud, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Lemen, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Solar Phys. 162, 291–312 (1995).
[CrossRef]

Gilmer, G. H.

J. Dalla Torre, G. H. Gilmer, D. L. Windt, R. Kalyanaraman, F. H. Bauman, P. L. O’Sullivan, J. Sapjeta, T. Diaz de la Rubia, M. Djafari Rouhani, “Microstructure of thin tantalum films sputtered onto inclined substrates: experiments and atomistic simulations,” J. App. Phys. 94, 263–271 (2003).
[CrossRef]

Golub, L.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

L. Golub, J. M. Pasachoff, The Solar Corona (Cambridge U. Press, Cambridge, UK, 1997), chap. 8.

Grigonis, M.

Gullikson, E. M.

J. H. Underwood, E. M. Gullikson, M. Koike, P. J. Batson, P. E. Denham, K. D. Franck, R. E. Tackaberry, W. F. Steele, “Calibration and standards beamline 6.3.2 at the Advanced Light Source,” Rev. Sci. Inst. 67, 3372 (1996).
[CrossRef]

B. L. Henke, E. M. Gullikson, J. C. Davis, “X-ray interactions: photabsorption, scattering, transmission, and reflection at E = 50–30,000 eV, Z = 1–92,” At. Data Nuclear Data Tables 54, 181–342 (1993).
[CrossRef]

Gurman, J. B.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunaud, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Lemen, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Solar Phys. 162, 291–312 (1995).
[CrossRef]

Hailey, C.

D. L. Windt, F. E. Christensen, W. W. Craig, C. Hailey, F. A. Harrison, M. Jimenez-Garate, R. Kalyanaraman, P. H. Mao, “Growth, structure and performance of depth-graded W/Si multilayers for hard X-ray optics,” J. Appl. Phys. 88, 460–470 (2000).
[CrossRef]

Handy, B. N.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Harrison, F. A.

D. L. Windt, F. E. Christensen, W. W. Craig, C. Hailey, F. A. Harrison, M. Jimenez-Garate, R. Kalyanaraman, P. H. Mao, “Growth, structure and performance of depth-graded W/Si multilayers for hard X-ray optics,” J. Appl. Phys. 88, 460–470 (2000).
[CrossRef]

Henke, B. L.

B. L. Henke, E. M. Gullikson, J. C. Davis, “X-ray interactions: photabsorption, scattering, transmission, and reflection at E = 50–30,000 eV, Z = 1–92,” At. Data Nuclear Data Tables 54, 181–342 (1993).
[CrossRef]

Heroux, L.

M. Malinovsky, L. Heroux, “An analysis of the solar extreme-ultraviolet spectrum between 50 and 300 Å,” Astrophys. J. 181, 1009–1030 (1973).
[CrossRef]

Hochdez, J. F.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunaud, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Lemen, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Solar Phys. 162, 291–312 (1995).
[CrossRef]

Hoffmann, C. H.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Howard, R. A.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunaud, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Lemen, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Solar Phys. 162, 291–312 (1995).
[CrossRef]

Hull, R.

D. L. Windt, R. Hull, W. K. Waskiewicz, “Interface imperfections in metal/Si multilayers,” J. Appl. Phys. 71, 2675–2678 (1992).
[CrossRef]

Hurlburt, N. E.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Jamar, C.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunaud, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Lemen, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Solar Phys. 162, 291–312 (1995).
[CrossRef]

Jimenez-Garate, M.

D. L. Windt, F. E. Christensen, W. W. Craig, C. Hailey, F. A. Harrison, M. Jimenez-Garate, R. Kalyanaraman, P. H. Mao, “Growth, structure and performance of depth-graded W/Si multilayers for hard X-ray optics,” J. Appl. Phys. 88, 460–470 (2000).
[CrossRef]

Jurcevich, B. K.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Kalyanaraman, R.

J. Dalla Torre, G. H. Gilmer, D. L. Windt, R. Kalyanaraman, F. H. Bauman, P. L. O’Sullivan, J. Sapjeta, T. Diaz de la Rubia, M. Djafari Rouhani, “Microstructure of thin tantalum films sputtered onto inclined substrates: experiments and atomistic simulations,” J. App. Phys. 94, 263–271 (2003).
[CrossRef]

D. L. Windt, F. E. Christensen, W. W. Craig, C. Hailey, F. A. Harrison, M. Jimenez-Garate, R. Kalyanaraman, P. H. Mao, “Growth, structure and performance of depth-graded W/Si multilayers for hard X-ray optics,” J. Appl. Phys. 88, 460–470 (2000).
[CrossRef]

Kankelborg, C. C.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Katz, N. L.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Kearney, P. A.

J. M. Slaughter, A. Shapiro, P. A. Kearney, C. M. Falco, “Growth of molybdenum on silicon: structure and interface formation,” Phys. Rev. B 44, 3854–3763 (1991).
[CrossRef]

Kelly, G. A.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Knystautas, E. J.

Koike, M.

J. H. Underwood, E. M. Gullikson, M. Koike, P. J. Batson, P. E. Denham, K. D. Franck, R. E. Tackaberry, W. F. Steele, “Calibration and standards beamline 6.3.2 at the Advanced Light Source,” Rev. Sci. Inst. 67, 3372 (1996).
[CrossRef]

Kreplin, R.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunaud, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Lemen, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Solar Phys. 162, 291–312 (1995).
[CrossRef]

Lemen, J. R.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunaud, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Lemen, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Solar Phys. 162, 291–312 (1995).
[CrossRef]

Levay, M.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Lindgren, R. W.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Lucatorto, T. B.

C. Tarrio, R. N. Watts, T. B. Lucatorto, J. M. Slaughter, C. M. Falco, “Optical constants of in situ deposited films of important extreme-ultraviolet multilayer mirror materials,” App. Opt. 37, 4100–4104 (1998).
[CrossRef]

J. M. Slaughter, B. S. Medower, R. N. Watts, C. Tarrio, T. B. Lucatorto, C. M. Falco, “Si/B4C narrow-bandpass mirrors for the extreme ultraviolet,” Opt. Lett. 19, 1786–1788 (1994).
[CrossRef] [PubMed]

Maldonado, H.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Malinovsky, M.

M. Malinovsky, L. Heroux, “An analysis of the solar extreme-ultraviolet spectrum between 50 and 300 Å,” Astrophys. J. 181, 1009–1030 (1973).
[CrossRef]

Mao, P. H.

D. L. Windt, F. E. Christensen, W. W. Craig, C. Hailey, F. A. Harrison, M. Jimenez-Garate, R. Kalyanaraman, P. H. Mao, “Growth, structure and performance of depth-graded W/Si multilayers for hard X-ray optics,” J. Appl. Phys. 88, 460–470 (2000).
[CrossRef]

Marioge, J. P.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunaud, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Lemen, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Solar Phys. 162, 291–312 (1995).
[CrossRef]

Mathur, D. P.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Maucherat, A.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunaud, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Lemen, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Solar Phys. 162, 291–312 (1995).
[CrossRef]

McMullen, R. A.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Medower, B. S.

Meyer, S. B.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Michels, D. J.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunaud, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Lemen, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Solar Phys. 162, 291–312 (1995).
[CrossRef]

Millier, F.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunaud, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Lemen, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Solar Phys. 162, 291–312 (1995).
[CrossRef]

Morrison, M. D.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Morrison, S. J.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Moses, J. D.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunaud, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Lemen, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Solar Phys. 162, 291–312 (1995).
[CrossRef]

Neupert, W. M.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunaud, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Lemen, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Solar Phys. 162, 291–312 (1995).
[CrossRef]

R. J. Thomas, W. M. Neupert, “Extreme ultraviolet spectrum of a solar active region from SERTS,” Astrophys. J. Suppl. 91, 461–482 (1994).
[CrossRef]

Newnam, B.

Nightingale, R. W.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

O’Sullivan, P. L.

J. Dalla Torre, G. H. Gilmer, D. L. Windt, R. Kalyanaraman, F. H. Bauman, P. L. O’Sullivan, J. Sapjeta, T. Diaz de la Rubia, M. Djafari Rouhani, “Microstructure of thin tantalum films sputtered onto inclined substrates: experiments and atomistic simulations,” J. App. Phys. 94, 263–271 (2003).
[CrossRef]

Parkinson, C.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Pasachoff, J. M.

L. Golub, J. M. Pasachoff, The Solar Corona (Cambridge U. Press, Cambridge, UK, 1997), chap. 8.

Pinneo, M.

Pope, T. P.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Rehse, R. A.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Rochus, P.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunaud, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Lemen, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Solar Phys. 162, 291–312 (1995).
[CrossRef]

Sapjeta, J.

J. Dalla Torre, G. H. Gilmer, D. L. Windt, R. Kalyanaraman, F. H. Bauman, P. L. O’Sullivan, J. Sapjeta, T. Diaz de la Rubia, M. Djafari Rouhani, “Microstructure of thin tantalum films sputtered onto inclined substrates: experiments and atomistic simulations,” J. App. Phys. 94, 263–271 (2003).
[CrossRef]

Schrijver, C. J.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Scott, M.

Seely, J.

J. Seely, “Multilayer grating for the extreme ultraviolet spectrometer (EIS),” in X-Ray Optics, Instruments, and Missions IV, R. B. Hoover, A. B. Walker, eds., Proc. SPIE4138, 174–181 (2002).
[CrossRef]

Shapiro, A.

J. M. Slaughter, A. Shapiro, P. A. Kearney, C. M. Falco, “Growth of molybdenum on silicon: structure and interface formation,” Phys. Rev. B 44, 3854–3763 (1991).
[CrossRef]

Shine, R. A.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Shing, L.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunaud, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Lemen, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Solar Phys. 162, 291–312 (1995).
[CrossRef]

Slaughter, J. M.

C. Tarrio, R. N. Watts, T. B. Lucatorto, J. M. Slaughter, C. M. Falco, “Optical constants of in situ deposited films of important extreme-ultraviolet multilayer mirror materials,” App. Opt. 37, 4100–4104 (1998).
[CrossRef]

J. M. Slaughter, B. S. Medower, R. N. Watts, C. Tarrio, T. B. Lucatorto, C. M. Falco, “Si/B4C narrow-bandpass mirrors for the extreme ultraviolet,” Opt. Lett. 19, 1786–1788 (1994).
[CrossRef] [PubMed]

J. M. Slaughter, A. Shapiro, P. A. Kearney, C. M. Falco, “Growth of molybdenum on silicon: structure and interface formation,” Phys. Rev. B 44, 3854–3763 (1991).
[CrossRef]

Song, X. Y.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunaud, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Lemen, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Solar Phys. 162, 291–312 (1995).
[CrossRef]

Stearns, D. G.

D. G. Stearns, M. B. Stearns, Y. Cheng, J. H. Stith, N. M. Ceglio, “Thermally induced structural modification of Mo-Si multilayers,” J. App. Phys. 67, 2415–2427 (1990).
[CrossRef]

Stearns, M. B.

D. G. Stearns, M. B. Stearns, Y. Cheng, J. H. Stith, N. M. Ceglio, “Thermally induced structural modification of Mo-Si multilayers,” J. App. Phys. 67, 2415–2427 (1990).
[CrossRef]

Steele, W. F.

J. H. Underwood, E. M. Gullikson, M. Koike, P. J. Batson, P. E. Denham, K. D. Franck, R. E. Tackaberry, W. F. Steele, “Calibration and standards beamline 6.3.2 at the Advanced Light Source,” Rev. Sci. Inst. 67, 3372 (1996).
[CrossRef]

Stern, R. A.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunaud, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Lemen, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Solar Phys. 162, 291–312 (1995).
[CrossRef]

Stith, J. H.

D. G. Stearns, M. B. Stearns, Y. Cheng, J. H. Stith, N. M. Ceglio, “Thermally induced structural modification of Mo-Si multilayers,” J. App. Phys. 67, 2415–2427 (1990).
[CrossRef]

Swartzlander, A. B.

Tackaberry, R. E.

J. H. Underwood, E. M. Gullikson, M. Koike, P. J. Batson, P. E. Denham, K. D. Franck, R. E. Tackaberry, W. F. Steele, “Calibration and standards beamline 6.3.2 at the Advanced Light Source,” Rev. Sci. Inst. 67, 3372 (1996).
[CrossRef]

Takacs, P. Z.

Tarbell, T. D.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Tarrio, C.

C. Tarrio, R. N. Watts, T. B. Lucatorto, J. M. Slaughter, C. M. Falco, “Optical constants of in situ deposited films of important extreme-ultraviolet multilayer mirror materials,” App. Opt. 37, 4100–4104 (1998).
[CrossRef]

J. M. Slaughter, B. S. Medower, R. N. Watts, C. Tarrio, T. B. Lucatorto, C. M. Falco, “Si/B4C narrow-bandpass mirrors for the extreme ultraviolet,” Opt. Lett. 19, 1786–1788 (1994).
[CrossRef] [PubMed]

Thomas, R. J.

R. J. Thomas, W. M. Neupert, “Extreme ultraviolet spectrum of a solar active region from SERTS,” Astrophys. J. Suppl. 91, 461–482 (1994).
[CrossRef]

Title, A. M.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Torgerson, D. D.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Underwood, J. H.

J. H. Underwood, E. M. Gullikson, M. Koike, P. J. Batson, P. E. Denham, K. D. Franck, R. E. Tackaberry, W. F. Steele, “Calibration and standards beamline 6.3.2 at the Advanced Light Source,” Rev. Sci. Inst. 67, 3372 (1996).
[CrossRef]

Van Dessel, E. L.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunaud, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Lemen, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Solar Phys. 162, 291–312 (1995).
[CrossRef]

Volkert, C. A.

D. L. Windt, W. L. Brown, C. A. Volkert, W. K. Waskiewicz, “Variation in stress with background pressure in sputtered Mo/Si multilayer films,” J. Appl. Phys. 78, 2423–2430 (1995).
[CrossRef]

Waskiewicz, W. K.

D. L. Windt, W. L. Brown, C. A. Volkert, W. K. Waskiewicz, “Variation in stress with background pressure in sputtered Mo/Si multilayer films,” J. Appl. Phys. 78, 2423–2430 (1995).
[CrossRef]

D. L. Windt, W. K. Waskiewicz, “Multilayer facilities required for extreme-ultraviolet lithography,” J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3826–3832 (1994).
[CrossRef]

D. L. Windt, R. Hull, W. K. Waskiewicz, “Interface imperfections in metal/Si multilayers,” J. Appl. Phys. 71, 2675–2678 (1992).
[CrossRef]

Watts, R. N.

C. Tarrio, R. N. Watts, T. B. Lucatorto, J. M. Slaughter, C. M. Falco, “Optical constants of in situ deposited films of important extreme-ultraviolet multilayer mirror materials,” App. Opt. 37, 4100–4104 (1998).
[CrossRef]

J. M. Slaughter, B. S. Medower, R. N. Watts, C. Tarrio, T. B. Lucatorto, C. M. Falco, “Si/B4C narrow-bandpass mirrors for the extreme ultraviolet,” Opt. Lett. 19, 1786–1788 (1994).
[CrossRef] [PubMed]

Windt, D. L.

J. Dalla Torre, G. H. Gilmer, D. L. Windt, R. Kalyanaraman, F. H. Bauman, P. L. O’Sullivan, J. Sapjeta, T. Diaz de la Rubia, M. Djafari Rouhani, “Microstructure of thin tantalum films sputtered onto inclined substrates: experiments and atomistic simulations,” J. App. Phys. 94, 263–271 (2003).
[CrossRef]

D. L. Windt, F. E. Christensen, W. W. Craig, C. Hailey, F. A. Harrison, M. Jimenez-Garate, R. Kalyanaraman, P. H. Mao, “Growth, structure and performance of depth-graded W/Si multilayers for hard X-ray optics,” J. Appl. Phys. 88, 460–470 (2000).
[CrossRef]

D. L. Windt, “Low-stress W/Cr bilayer films for use as SCALPEL® mask scattering layers,” J. Vac. Sci. Tech. B 17, 1385–1389 (1999).
[CrossRef]

D. L. Windt, “IMD — software for modeling the optical properties of multilayer films” Comput. Phys. 12, 360–370 (1998).
[CrossRef]

D. L. Windt, W. L. Brown, C. A. Volkert, W. K. Waskiewicz, “Variation in stress with background pressure in sputtered Mo/Si multilayer films,” J. Appl. Phys. 78, 2423–2430 (1995).
[CrossRef]

D. L. Windt, W. K. Waskiewicz, “Multilayer facilities required for extreme-ultraviolet lithography,” J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3826–3832 (1994).
[CrossRef]

D. L. Windt, R. Hull, W. K. Waskiewicz, “Interface imperfections in metal/Si multilayers,” J. Appl. Phys. 71, 2675–2678 (1992).
[CrossRef]

D. L. Windt, W. Cash, M. Scott, P. Arendt, B. Newnam, R. F. Fisher, A. B. Swartzlander, M. Pinneo, P. Z. Takacs, “Optical constants for thin films of C, diamond, Al, Si, and CVD-SiC from 24 Å to 1216 Å,” Appl. Opt. 27, 279–295 (1988).
[CrossRef] [PubMed]

Wolfson, C. J.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

App. Opt. (1)

C. Tarrio, R. N. Watts, T. B. Lucatorto, J. M. Slaughter, C. M. Falco, “Optical constants of in situ deposited films of important extreme-ultraviolet multilayer mirror materials,” App. Opt. 37, 4100–4104 (1998).
[CrossRef]

Appl. Opt. (2)

Astrophys. J. (1)

M. Malinovsky, L. Heroux, “An analysis of the solar extreme-ultraviolet spectrum between 50 and 300 Å,” Astrophys. J. 181, 1009–1030 (1973).
[CrossRef]

Astrophys. J. Suppl. (2)

G. A. Doschek, R. D. Cowan, “A solar spectral line list between 10 and 200 Å modified for application to high spectral resolution x-ray astronomy,” Astrophys. J. Suppl. 56, 67–89 (1984).
[CrossRef]

R. J. Thomas, W. M. Neupert, “Extreme ultraviolet spectrum of a solar active region from SERTS,” Astrophys. J. Suppl. 91, 461–482 (1994).
[CrossRef]

At. Data Nuclear Data Tables (1)

B. L. Henke, E. M. Gullikson, J. C. Davis, “X-ray interactions: photabsorption, scattering, transmission, and reflection at E = 50–30,000 eV, Z = 1–92,” At. Data Nuclear Data Tables 54, 181–342 (1993).
[CrossRef]

Comput. Phys. (1)

D. L. Windt, “IMD — software for modeling the optical properties of multilayer films” Comput. Phys. 12, 360–370 (1998).
[CrossRef]

J. App. Phys. (2)

D. G. Stearns, M. B. Stearns, Y. Cheng, J. H. Stith, N. M. Ceglio, “Thermally induced structural modification of Mo-Si multilayers,” J. App. Phys. 67, 2415–2427 (1990).
[CrossRef]

J. Dalla Torre, G. H. Gilmer, D. L. Windt, R. Kalyanaraman, F. H. Bauman, P. L. O’Sullivan, J. Sapjeta, T. Diaz de la Rubia, M. Djafari Rouhani, “Microstructure of thin tantalum films sputtered onto inclined substrates: experiments and atomistic simulations,” J. App. Phys. 94, 263–271 (2003).
[CrossRef]

J. Appl. Phys. (3)

D. L. Windt, F. E. Christensen, W. W. Craig, C. Hailey, F. A. Harrison, M. Jimenez-Garate, R. Kalyanaraman, P. H. Mao, “Growth, structure and performance of depth-graded W/Si multilayers for hard X-ray optics,” J. Appl. Phys. 88, 460–470 (2000).
[CrossRef]

D. L. Windt, W. L. Brown, C. A. Volkert, W. K. Waskiewicz, “Variation in stress with background pressure in sputtered Mo/Si multilayer films,” J. Appl. Phys. 78, 2423–2430 (1995).
[CrossRef]

D. L. Windt, R. Hull, W. K. Waskiewicz, “Interface imperfections in metal/Si multilayers,” J. Appl. Phys. 71, 2675–2678 (1992).
[CrossRef]

J. Vac. Sci. Tech. B (1)

D. L. Windt, “Low-stress W/Cr bilayer films for use as SCALPEL® mask scattering layers,” J. Vac. Sci. Tech. B 17, 1385–1389 (1999).
[CrossRef]

J. Vac. Sci. Technol. B (1)

D. L. Windt, W. K. Waskiewicz, “Multilayer facilities required for extreme-ultraviolet lithography,” J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3826–3832 (1994).
[CrossRef]

Opt. Lett. (1)

Phys. Rev. B (1)

J. M. Slaughter, A. Shapiro, P. A. Kearney, C. M. Falco, “Growth of molybdenum on silicon: structure and interface formation,” Phys. Rev. B 44, 3854–3763 (1991).
[CrossRef]

Rev. Sci. Inst. (1)

J. H. Underwood, E. M. Gullikson, M. Koike, P. J. Batson, P. E. Denham, K. D. Franck, R. E. Tackaberry, W. F. Steele, “Calibration and standards beamline 6.3.2 at the Advanced Light Source,” Rev. Sci. Inst. 67, 3372 (1996).
[CrossRef]

Solar Phys. (2)

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunaud, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Lemen, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Solar Phys. 162, 291–312 (1995).
[CrossRef]

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. McMullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Parkinson, “The transition region and coronal explorer,” Solar Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Other (4)

L. Golub, J. M. Pasachoff, The Solar Corona (Cambridge U. Press, Cambridge, UK, 1997), chap. 8.

J. Seely, “Multilayer grating for the extreme ultraviolet spectrometer (EIS),” in X-Ray Optics, Instruments, and Missions IV, R. B. Hoover, A. B. Walker, eds., Proc. SPIE4138, 174–181 (2002).
[CrossRef]

Solar Orbiter Pre-Assessment Study Report, October1999, http://zeus.nascom.nasa.gov/∼bfleck/Orbiter/Documents/pre_assess_rep.pdf .

These EUV reflectance data were obtained by use of the laser-plasma-based reflectometer described above; in this case no adjustments to the wavelength scales were made.

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (9)

Fig. 1
Fig. 1

Measured EUV reflectance of Si/Mo, Si/Mo2C, Si/B4C, Si/C, and Si/SiC multilayers tuned near (a) the solar Fe xv line at 28.4 nm, (b) the He ii line at 30.4 nm, (c) the Fe xvi line at 33.5 nm. The structural parameters for each multilayer are listed in Table 2. The reflectance was measured at 5° incidence by use of synchrotron radiation at NSLS. The wavelength scale was adjusted slightly for each multilayer in these plots to compensate for small variations in multilayer period between samples, to facilitate relative performance comparisons.

Fig. 2
Fig. 2

Measured (a) normal-incidence EUV and (b) grazing-incidence x-ray reflectance of Si/Mo, (c), (d) Si/Mo2C (e), (f) Si/B4C (g), (h) Si/C, and (i), (j) Si/SiC multilayers, comparing the response for asdeposited films versus films annealed for 1 h at 100, 200, and 300 °C as indicated. The EUV reflectance measurements in this case were made at 4° incidence with a laser-plasma-based reflectometer.

Fig. 3
Fig. 3

Measured EUV reflectance Si/Mo and Si/Mo2C multilayers, comparing as-deposited films with those annealed at 80°C in air for 3 days and 8 days, as indicated. All four films have metal (i.e., Mo or Mo2C) as the topmost layer; the Si/Mo film in (a) and the Si/Mo2C film in (c) have 2-nm-thick Si capping layers, and the films in (b) and (d) are unprotected.

Fig. 4
Fig. 4

Measured (a) normal-incidence EUV and (b) grazing incidence x-ray reflectance of Si/Mo2C multilayers prepared at high versus low background pressure as indicated.

Fig. 5
Fig. 5

Comparison of the measured EUV reflectance of prototype multilayers for the Solar-B EIS instrument, demonstrating how the spectral response of the coatings can be fine-tuned by precisely adjusting individual Si and Mo layer thicknesses as indicated. Fits to the measured curves (with the optical constants for Si from Ref. 21 and for Mo from Ref. 22) are shown as dotted curves.

Fig. 6
Fig. 6

Measured EUV reflectance of broadband (a) and narrowband (b) Si/Mo multilayers. The dotted curve in (a) is a fit to the data using the CXRO optical constants from Ref. 21 for Si and Mo; dashed line is fit using the optical constants for Mo from Ref. 22; and is markedly better. The quality of the fit (dotted curve) for the narrowband multilayer (b) using the Tarrio data for Mo is poor, however.

Fig. 7
Fig. 7

Measured EUV reflectance of (a) broadband (a) and (b) narrowband Si/Mo2C multilayers. The dotted curve in (a) is a fit to the data using the CXRO optical constants from Ref. 21 for Si and Mo2C; the dashed curve is fit using newly derived optical constants for Mo2C shown in Fig. 8 and is markedly better. The quality of the fit (dotted line) for the narrowband multilayer (b) using the new data for Mo2C is poor, however.

Fig. 8
Fig. 8

Optical constants (refractive index, n, and extinction coefficient, k) for Mo2C, determined by fitting reflectance versus incidence angle measurements of a sputtered Mo2C film. The solid curves are polynomial fits to the measured data. The optical constants determined from the CXRO atomic scattering factors21 are shown as dotted curves.

Fig. 9
Fig. 9

EUV reflectance of (a) Si/B4C, (b) Si/C, and (c) Si/SiC multilayers. The measured values are shown as solid curves while the dotted curves are fits using optical constants for Si and SiC from Ref. 21 and for B4C and C from Ref. 22.

Tables (2)

Tables Icon

Table 1 Effective Deposition Ratesa

Tables Icon

Table 2 Structural Parameters Determined from XRR and EUV Reflectance Measurements and EUV Performance Characteristicsa

Metrics