Abstract

A silicon photodiode coated with an interface-engineered Mo/Si multilayer was developed as a polarization sensitive detector. The Mo/B4C/Si multilayer was designed to reflect 13.5-nm extreme-ultraviolet (EUV) radiation at an incident angle of 45°, at which the maximum polarization sensitivity occurs. The sensitivity of this specially coated photodiode and its polarization responses were determined by measurement of the reflectance and transmittance of the multilayer coating with synchrotron radiation. The Mo/B4C/Si multilayer was found to reflect 69.9% of the s-polarized radiation and only 2.4% of the p-polarized radiation, thus transmitting approximately 0.2% s-polarized radiation and 8.4% p-polarized radiation at a 13.5-nm wavelength and a 45° angle of incidence. A polarization ratio, (T p - T s)/(T p + T s), of 95% was achieved with sufficiently high sensitivity from this photodiode. This result demonstrates the high polarization sensitivity and the usefulness of multilayer-coated photodiodes as novel EUV polarimeters.

© 2004 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. S. Fineschi, R. B. Hoover, M. Zukic, J. Kim, A. B. C. Walker, P. C. Baker, “Polarimetry of the H I Lyman α line for coronal magnetic field diagnostics,” in Multilayer and Grazing Incidence X-Ray/EUV Optics for Astronomy and Projection Lithography, R. B. Hoover, A. B. C. Walker, eds., Proc. SPIE1742, 423–431 (1993).
    [CrossRef]
  2. N. M. Firstova, J.-C. Hénoux, S. A. Kazantsev, A. V. Bulatov, “Spectroscopolarimetric sensing of energy deposition into the chromosphere during solar flares,” Sol. Phys. 171, 123–144 (1997).
    [CrossRef]
  3. J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunuad, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Leman, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Sol. Phys. 162, 219–312 (1995).
    [CrossRef]
  4. B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
    [CrossRef]
  5. J. F. Seely, “Multilayer grating for extreme ultraviolet imaging spectrometer (EIS),” in X-Ray Optics, Instruments, and Missions IV, R. B. Hoover, A. B. C. Walker, eds., Proc. SPIE4138, 174–181 (2000).
    [CrossRef]
  6. D. G. Stearns, N. M. Ceglio, A. M. Hawryluk, M. B. Sterns, A. K. Petford-Long, C.-H. Chang, K. Danzmann, M. Khüe, P. Müller, B. Wende, “TEM and x-ray analysis of multilayer mirrors and beamsplitters,” in Multilayer Structures and Laboratory X-Ray Laser Research, N. M. Ceglio, P. Dhez, eds., Proc. SPIE688, 91–98 (1986).
    [CrossRef]
  7. H. Nomura, K. Mayama, T. Sakai, M. Yamamoto, M. Yanagihara, “Design, fabrication, and polarization of soft x-ray transmission multilayers,” in International Symposium on Optical Fabrication, Testing, and Surface Evaluation, T. Jumpei, ed., Proc. SPIE1720, 395–401 (1992).
    [CrossRef]
  8. T. Haga, M. C. K. Tinene, A. Ozawa, Y. Utsumi, S. Itabashi, T. Ohkubo, M. Shimada, “Fabrication of semitransparent multilayer polarizer and its application to soft x-ray ellipsometer,” in Ultraviolet and X-Ray Detection, Spectroscopy, and Polarimetry III, S. Fineshi, B. E. Woodgate, R. A. Kimble, eds., Proc. SPIE3764, 13–27 (1999).
    [CrossRef]
  9. E. M. Gullikson, R. Korde, L. R. Canfield, R. E. Vest, “Stable silicon photodiodes for absolute intensity measurements in the VUV and soft x-ray regions,” J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 80, 313–316 (1996).
    [CrossRef]
  10. S. Bajt, J. B. Alameda, T. W. Barbee, W. M. Clift, J. A. Folta, B. Kaufmann, E. A. Spiller, “Improved reflectance and stability of Mo-Si multilayers,” Opt. Eng. 41, 1797–1804 (2002).
    [CrossRef]
  11. J. F. Seely, Yu. A. Uspenskii, Yu. P. Pershin, V. V. Kondratenko, A. V. Vinogradov, “Skylab 3600 groove/mm replica grating with a scandium-silicon multilayer coating and high normal-incidence efficiency at 38-nm wavelength,” Appl. Opt. 41, 1846–1851 (2002).
    [CrossRef] [PubMed]
  12. D. G. Gaines, R. C. Spitzer, N. M. Ceglio, M. Krumrey, G. Ulm, “Radiation hardness of molybdenum and silicon multilayers designed for use in a soft x-ray projection lithography system,” Appl. Opt. 32, 6991–6998 (1993).
    [CrossRef] [PubMed]
  13. S. Oestreich, R. Klien, F. Scholze, J. Jonkers, E. Louis, A. Yakshin, P. Görts, G. Ulm, M. Haidl, F. Bijkerk, “Multilayer reflectance during exposure to EUV radiation,” in Soft X-Ray and EUV Imaging Systems, W. M. Kaiser, R. H. Stulen, eds., Proc. SPIE4146, 64–71 (2000).
    [CrossRef]
  14. J. F. Seely, R. G. Cruddace, M. P. Kowalski, W. R. Hunter, T. W. Barbee, J. C. Rife, R. Eby, K. G. Stolt, “Polarization and efficiency of a concave multilayer grating in the 135–250-Å region and in normal-incidence and Seya-Namioka mounts,” Appl. Opt. 34, 7347–7354 (1995).
    [CrossRef] [PubMed]
  15. J. Seely, B. Kjornrattanawanich, “Measurement of extreme ultraviolet attenuation edges of Mg, Sn, and In filters,” Appl. Opt. 42, 6374–6381 (2003).
    [CrossRef] [PubMed]

2003

2002

1999

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

1997

N. M. Firstova, J.-C. Hénoux, S. A. Kazantsev, A. V. Bulatov, “Spectroscopolarimetric sensing of energy deposition into the chromosphere during solar flares,” Sol. Phys. 171, 123–144 (1997).
[CrossRef]

1996

E. M. Gullikson, R. Korde, L. R. Canfield, R. E. Vest, “Stable silicon photodiodes for absolute intensity measurements in the VUV and soft x-ray regions,” J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 80, 313–316 (1996).
[CrossRef]

1995

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunuad, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Leman, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Sol. Phys. 162, 219–312 (1995).
[CrossRef]

J. F. Seely, R. G. Cruddace, M. P. Kowalski, W. R. Hunter, T. W. Barbee, J. C. Rife, R. Eby, K. G. Stolt, “Polarization and efficiency of a concave multilayer grating in the 135–250-Å region and in normal-incidence and Seya-Namioka mounts,” Appl. Opt. 34, 7347–7354 (1995).
[CrossRef] [PubMed]

1993

Acton, L. W.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Akin, D. J.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Alameda, J. B.

S. Bajt, J. B. Alameda, T. W. Barbee, W. M. Clift, J. A. Folta, B. Kaufmann, E. A. Spiller, “Improved reflectance and stability of Mo-Si multilayers,” Opt. Eng. 41, 1797–1804 (2002).
[CrossRef]

Amato, D.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Artzner, G. E.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunuad, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Leman, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Sol. Phys. 162, 219–312 (1995).
[CrossRef]

Au, B.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunuad, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Leman, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Sol. Phys. 162, 219–312 (1995).
[CrossRef]

Bajt, S.

S. Bajt, J. B. Alameda, T. W. Barbee, W. M. Clift, J. A. Folta, B. Kaufmann, E. A. Spiller, “Improved reflectance and stability of Mo-Si multilayers,” Opt. Eng. 41, 1797–1804 (2002).
[CrossRef]

Baker, P. C.

S. Fineschi, R. B. Hoover, M. Zukic, J. Kim, A. B. C. Walker, P. C. Baker, “Polarimetry of the H I Lyman α line for coronal magnetic field diagnostics,” in Multilayer and Grazing Incidence X-Ray/EUV Optics for Astronomy and Projection Lithography, R. B. Hoover, A. B. C. Walker, eds., Proc. SPIE1742, 423–431 (1993).
[CrossRef]

Barbee, T. W.

Bijkerk, F.

S. Oestreich, R. Klien, F. Scholze, J. Jonkers, E. Louis, A. Yakshin, P. Görts, G. Ulm, M. Haidl, F. Bijkerk, “Multilayer reflectance during exposure to EUV radiation,” in Soft X-Ray and EUV Imaging Systems, W. M. Kaiser, R. H. Stulen, eds., Proc. SPIE4146, 64–71 (2000).
[CrossRef]

Bookbinder, J. A.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Bruner, M. E.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Brunuad, J.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunuad, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Leman, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Sol. Phys. 162, 219–312 (1995).
[CrossRef]

Bulatov, A. V.

N. M. Firstova, J.-C. Hénoux, S. A. Kazantsev, A. V. Bulatov, “Spectroscopolarimetric sensing of energy deposition into the chromosphere during solar flares,” Sol. Phys. 171, 123–144 (1997).
[CrossRef]

Caldwell, D.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Canfield, L. R.

E. M. Gullikson, R. Korde, L. R. Canfield, R. E. Vest, “Stable silicon photodiodes for absolute intensity measurements in the VUV and soft x-ray regions,” J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 80, 313–316 (1996).
[CrossRef]

Caravalho, R.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Catura, R. C.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunuad, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Leman, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Sol. Phys. 162, 219–312 (1995).
[CrossRef]

Ceglio, N. M.

D. G. Gaines, R. C. Spitzer, N. M. Ceglio, M. Krumrey, G. Ulm, “Radiation hardness of molybdenum and silicon multilayers designed for use in a soft x-ray projection lithography system,” Appl. Opt. 32, 6991–6998 (1993).
[CrossRef] [PubMed]

D. G. Stearns, N. M. Ceglio, A. M. Hawryluk, M. B. Sterns, A. K. Petford-Long, C.-H. Chang, K. Danzmann, M. Khüe, P. Müller, B. Wende, “TEM and x-ray analysis of multilayer mirrors and beamsplitters,” in Multilayer Structures and Laboratory X-Ray Laser Research, N. M. Ceglio, P. Dhez, eds., Proc. SPIE688, 91–98 (1986).
[CrossRef]

Chang, C.-H.

D. G. Stearns, N. M. Ceglio, A. M. Hawryluk, M. B. Sterns, A. K. Petford-Long, C.-H. Chang, K. Danzmann, M. Khüe, P. Müller, B. Wende, “TEM and x-ray analysis of multilayer mirrors and beamsplitters,” in Multilayer Structures and Laboratory X-Ray Laser Research, N. M. Ceglio, P. Dhez, eds., Proc. SPIE688, 91–98 (1986).
[CrossRef]

Cheimets, P. N.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Chevalier, R.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Clette, F.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunuad, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Leman, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Sol. Phys. 162, 219–312 (1995).
[CrossRef]

Clift, W. M.

S. Bajt, J. B. Alameda, T. W. Barbee, W. M. Clift, J. A. Folta, B. Kaufmann, E. A. Spiller, “Improved reflectance and stability of Mo-Si multilayers,” Opt. Eng. 41, 1797–1804 (2002).
[CrossRef]

Cruddace, R. G.

Cugnon, P.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunuad, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Leman, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Sol. Phys. 162, 219–312 (1995).
[CrossRef]

Danzmann, K.

D. G. Stearns, N. M. Ceglio, A. M. Hawryluk, M. B. Sterns, A. K. Petford-Long, C.-H. Chang, K. Danzmann, M. Khüe, P. Müller, B. Wende, “TEM and x-ray analysis of multilayer mirrors and beamsplitters,” in Multilayer Structures and Laboratory X-Ray Laser Research, N. M. Ceglio, P. Dhez, eds., Proc. SPIE688, 91–98 (1986).
[CrossRef]

Davis, W. N.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Defise, J. M.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunuad, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Leman, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Sol. Phys. 162, 219–312 (1995).
[CrossRef]

Delaboudinière, J. P.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunuad, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Leman, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Sol. Phys. 162, 219–312 (1995).
[CrossRef]

DeLuca, E. E.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Dere, K. P.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunuad, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Leman, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Sol. Phys. 162, 219–312 (1995).
[CrossRef]

Duncan, D. W.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Eby, R.

Edwards, C. G.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Feinstein, C. N.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Fineschi, S.

S. Fineschi, R. B. Hoover, M. Zukic, J. Kim, A. B. C. Walker, P. C. Baker, “Polarimetry of the H I Lyman α line for coronal magnetic field diagnostics,” in Multilayer and Grazing Incidence X-Ray/EUV Optics for Astronomy and Projection Lithography, R. B. Hoover, A. B. C. Walker, eds., Proc. SPIE1742, 423–431 (1993).
[CrossRef]

Firstova, N. M.

N. M. Firstova, J.-C. Hénoux, S. A. Kazantsev, A. V. Bulatov, “Spectroscopolarimetric sensing of energy deposition into the chromosphere during solar flares,” Sol. Phys. 171, 123–144 (1997).
[CrossRef]

Fisher, R.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Folta, J. A.

S. Bajt, J. B. Alameda, T. W. Barbee, W. M. Clift, J. A. Folta, B. Kaufmann, E. A. Spiller, “Improved reflectance and stability of Mo-Si multilayers,” Opt. Eng. 41, 1797–1804 (2002).
[CrossRef]

Freeland, S. L.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Friedlander, F. M.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Gabriel, A. H.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunuad, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Leman, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Sol. Phys. 162, 219–312 (1995).
[CrossRef]

Gaines, D. G.

Golub, L.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Görts, P.

S. Oestreich, R. Klien, F. Scholze, J. Jonkers, E. Louis, A. Yakshin, P. Görts, G. Ulm, M. Haidl, F. Bijkerk, “Multilayer reflectance during exposure to EUV radiation,” in Soft X-Ray and EUV Imaging Systems, W. M. Kaiser, R. H. Stulen, eds., Proc. SPIE4146, 64–71 (2000).
[CrossRef]

Gullikson, E. M.

E. M. Gullikson, R. Korde, L. R. Canfield, R. E. Vest, “Stable silicon photodiodes for absolute intensity measurements in the VUV and soft x-ray regions,” J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 80, 313–316 (1996).
[CrossRef]

Gurman, J. B.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunuad, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Leman, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Sol. Phys. 162, 219–312 (1995).
[CrossRef]

Haga, T.

T. Haga, M. C. K. Tinene, A. Ozawa, Y. Utsumi, S. Itabashi, T. Ohkubo, M. Shimada, “Fabrication of semitransparent multilayer polarizer and its application to soft x-ray ellipsometer,” in Ultraviolet and X-Ray Detection, Spectroscopy, and Polarimetry III, S. Fineshi, B. E. Woodgate, R. A. Kimble, eds., Proc. SPIE3764, 13–27 (1999).
[CrossRef]

Haidl, M.

S. Oestreich, R. Klien, F. Scholze, J. Jonkers, E. Louis, A. Yakshin, P. Görts, G. Ulm, M. Haidl, F. Bijkerk, “Multilayer reflectance during exposure to EUV radiation,” in Soft X-Ray and EUV Imaging Systems, W. M. Kaiser, R. H. Stulen, eds., Proc. SPIE4146, 64–71 (2000).
[CrossRef]

Handy, B. N.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Hawryluk, A. M.

D. G. Stearns, N. M. Ceglio, A. M. Hawryluk, M. B. Sterns, A. K. Petford-Long, C.-H. Chang, K. Danzmann, M. Khüe, P. Müller, B. Wende, “TEM and x-ray analysis of multilayer mirrors and beamsplitters,” in Multilayer Structures and Laboratory X-Ray Laser Research, N. M. Ceglio, P. Dhez, eds., Proc. SPIE688, 91–98 (1986).
[CrossRef]

Hénoux, J.-C.

N. M. Firstova, J.-C. Hénoux, S. A. Kazantsev, A. V. Bulatov, “Spectroscopolarimetric sensing of energy deposition into the chromosphere during solar flares,” Sol. Phys. 171, 123–144 (1997).
[CrossRef]

Hochdez, J. F.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunuad, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Leman, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Sol. Phys. 162, 219–312 (1995).
[CrossRef]

Hoffmann, C. H.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Hoover, R. B.

S. Fineschi, R. B. Hoover, M. Zukic, J. Kim, A. B. C. Walker, P. C. Baker, “Polarimetry of the H I Lyman α line for coronal magnetic field diagnostics,” in Multilayer and Grazing Incidence X-Ray/EUV Optics for Astronomy and Projection Lithography, R. B. Hoover, A. B. C. Walker, eds., Proc. SPIE1742, 423–431 (1993).
[CrossRef]

Howard, R. A.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunuad, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Leman, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Sol. Phys. 162, 219–312 (1995).
[CrossRef]

Hunter, W. R.

Hurlburt, N. E.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Itabashi, S.

T. Haga, M. C. K. Tinene, A. Ozawa, Y. Utsumi, S. Itabashi, T. Ohkubo, M. Shimada, “Fabrication of semitransparent multilayer polarizer and its application to soft x-ray ellipsometer,” in Ultraviolet and X-Ray Detection, Spectroscopy, and Polarimetry III, S. Fineshi, B. E. Woodgate, R. A. Kimble, eds., Proc. SPIE3764, 13–27 (1999).
[CrossRef]

Jamar, C.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunuad, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Leman, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Sol. Phys. 162, 219–312 (1995).
[CrossRef]

Jonkers, J.

S. Oestreich, R. Klien, F. Scholze, J. Jonkers, E. Louis, A. Yakshin, P. Görts, G. Ulm, M. Haidl, F. Bijkerk, “Multilayer reflectance during exposure to EUV radiation,” in Soft X-Ray and EUV Imaging Systems, W. M. Kaiser, R. H. Stulen, eds., Proc. SPIE4146, 64–71 (2000).
[CrossRef]

Jurcevich, B. K.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Kankelborg, C. C.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Katz, N. L.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Kaufmann, B.

S. Bajt, J. B. Alameda, T. W. Barbee, W. M. Clift, J. A. Folta, B. Kaufmann, E. A. Spiller, “Improved reflectance and stability of Mo-Si multilayers,” Opt. Eng. 41, 1797–1804 (2002).
[CrossRef]

Kazantsev, S. A.

N. M. Firstova, J.-C. Hénoux, S. A. Kazantsev, A. V. Bulatov, “Spectroscopolarimetric sensing of energy deposition into the chromosphere during solar flares,” Sol. Phys. 171, 123–144 (1997).
[CrossRef]

Kelly, G. A.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Khüe, M.

D. G. Stearns, N. M. Ceglio, A. M. Hawryluk, M. B. Sterns, A. K. Petford-Long, C.-H. Chang, K. Danzmann, M. Khüe, P. Müller, B. Wende, “TEM and x-ray analysis of multilayer mirrors and beamsplitters,” in Multilayer Structures and Laboratory X-Ray Laser Research, N. M. Ceglio, P. Dhez, eds., Proc. SPIE688, 91–98 (1986).
[CrossRef]

Kim, J.

S. Fineschi, R. B. Hoover, M. Zukic, J. Kim, A. B. C. Walker, P. C. Baker, “Polarimetry of the H I Lyman α line for coronal magnetic field diagnostics,” in Multilayer and Grazing Incidence X-Ray/EUV Optics for Astronomy and Projection Lithography, R. B. Hoover, A. B. C. Walker, eds., Proc. SPIE1742, 423–431 (1993).
[CrossRef]

Kjornrattanawanich, B.

Klien, R.

S. Oestreich, R. Klien, F. Scholze, J. Jonkers, E. Louis, A. Yakshin, P. Görts, G. Ulm, M. Haidl, F. Bijkerk, “Multilayer reflectance during exposure to EUV radiation,” in Soft X-Ray and EUV Imaging Systems, W. M. Kaiser, R. H. Stulen, eds., Proc. SPIE4146, 64–71 (2000).
[CrossRef]

Kondratenko, V. V.

Korde, R.

E. M. Gullikson, R. Korde, L. R. Canfield, R. E. Vest, “Stable silicon photodiodes for absolute intensity measurements in the VUV and soft x-ray regions,” J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 80, 313–316 (1996).
[CrossRef]

Kowalski, M. P.

Kreplin, R.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunuad, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Leman, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Sol. Phys. 162, 219–312 (1995).
[CrossRef]

Krumrey, M.

Leman, J. R.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunuad, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Leman, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Sol. Phys. 162, 219–312 (1995).
[CrossRef]

Lemen, J. R.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Levay, M.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Lindgren, R. W.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Louis, E.

S. Oestreich, R. Klien, F. Scholze, J. Jonkers, E. Louis, A. Yakshin, P. Görts, G. Ulm, M. Haidl, F. Bijkerk, “Multilayer reflectance during exposure to EUV radiation,” in Soft X-Ray and EUV Imaging Systems, W. M. Kaiser, R. H. Stulen, eds., Proc. SPIE4146, 64–71 (2000).
[CrossRef]

Maldonado, H.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Marioge, J. P.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunuad, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Leman, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Sol. Phys. 162, 219–312 (1995).
[CrossRef]

Mathur, D. P.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Maucherat, A.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunuad, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Leman, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Sol. Phys. 162, 219–312 (1995).
[CrossRef]

Mayama, K.

H. Nomura, K. Mayama, T. Sakai, M. Yamamoto, M. Yanagihara, “Design, fabrication, and polarization of soft x-ray transmission multilayers,” in International Symposium on Optical Fabrication, Testing, and Surface Evaluation, T. Jumpei, ed., Proc. SPIE1720, 395–401 (1992).
[CrossRef]

Mcmullen, R. A.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Meyer, S. B.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Michels, D. J.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunuad, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Leman, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Sol. Phys. 162, 219–312 (1995).
[CrossRef]

Millier, F.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunuad, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Leman, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Sol. Phys. 162, 219–312 (1995).
[CrossRef]

Morrison, M. D.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Morrison, S. J.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Moses, J. D.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunuad, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Leman, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Sol. Phys. 162, 219–312 (1995).
[CrossRef]

Müller, P.

D. G. Stearns, N. M. Ceglio, A. M. Hawryluk, M. B. Sterns, A. K. Petford-Long, C.-H. Chang, K. Danzmann, M. Khüe, P. Müller, B. Wende, “TEM and x-ray analysis of multilayer mirrors and beamsplitters,” in Multilayer Structures and Laboratory X-Ray Laser Research, N. M. Ceglio, P. Dhez, eds., Proc. SPIE688, 91–98 (1986).
[CrossRef]

Neupert, W. M.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunuad, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Leman, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Sol. Phys. 162, 219–312 (1995).
[CrossRef]

Nightingale, R. W.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Nomura, H.

H. Nomura, K. Mayama, T. Sakai, M. Yamamoto, M. Yanagihara, “Design, fabrication, and polarization of soft x-ray transmission multilayers,” in International Symposium on Optical Fabrication, Testing, and Surface Evaluation, T. Jumpei, ed., Proc. SPIE1720, 395–401 (1992).
[CrossRef]

Oestreich, S.

S. Oestreich, R. Klien, F. Scholze, J. Jonkers, E. Louis, A. Yakshin, P. Görts, G. Ulm, M. Haidl, F. Bijkerk, “Multilayer reflectance during exposure to EUV radiation,” in Soft X-Ray and EUV Imaging Systems, W. M. Kaiser, R. H. Stulen, eds., Proc. SPIE4146, 64–71 (2000).
[CrossRef]

Ohkubo, T.

T. Haga, M. C. K. Tinene, A. Ozawa, Y. Utsumi, S. Itabashi, T. Ohkubo, M. Shimada, “Fabrication of semitransparent multilayer polarizer and its application to soft x-ray ellipsometer,” in Ultraviolet and X-Ray Detection, Spectroscopy, and Polarimetry III, S. Fineshi, B. E. Woodgate, R. A. Kimble, eds., Proc. SPIE3764, 13–27 (1999).
[CrossRef]

Ozawa, A.

T. Haga, M. C. K. Tinene, A. Ozawa, Y. Utsumi, S. Itabashi, T. Ohkubo, M. Shimada, “Fabrication of semitransparent multilayer polarizer and its application to soft x-ray ellipsometer,” in Ultraviolet and X-Ray Detection, Spectroscopy, and Polarimetry III, S. Fineshi, B. E. Woodgate, R. A. Kimble, eds., Proc. SPIE3764, 13–27 (1999).
[CrossRef]

Pakinson, C.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Pershin, Yu. P.

Petford-Long, A. K.

D. G. Stearns, N. M. Ceglio, A. M. Hawryluk, M. B. Sterns, A. K. Petford-Long, C.-H. Chang, K. Danzmann, M. Khüe, P. Müller, B. Wende, “TEM and x-ray analysis of multilayer mirrors and beamsplitters,” in Multilayer Structures and Laboratory X-Ray Laser Research, N. M. Ceglio, P. Dhez, eds., Proc. SPIE688, 91–98 (1986).
[CrossRef]

Pope, T. P.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Rehse, R. A.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Rife, J. C.

Rochus, P.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunuad, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Leman, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Sol. Phys. 162, 219–312 (1995).
[CrossRef]

Sakai, T.

H. Nomura, K. Mayama, T. Sakai, M. Yamamoto, M. Yanagihara, “Design, fabrication, and polarization of soft x-ray transmission multilayers,” in International Symposium on Optical Fabrication, Testing, and Surface Evaluation, T. Jumpei, ed., Proc. SPIE1720, 395–401 (1992).
[CrossRef]

Scholze, F.

S. Oestreich, R. Klien, F. Scholze, J. Jonkers, E. Louis, A. Yakshin, P. Görts, G. Ulm, M. Haidl, F. Bijkerk, “Multilayer reflectance during exposure to EUV radiation,” in Soft X-Ray and EUV Imaging Systems, W. M. Kaiser, R. H. Stulen, eds., Proc. SPIE4146, 64–71 (2000).
[CrossRef]

Schrijver, C. J.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Seely, J.

Seely, J. F.

Shimada, M.

T. Haga, M. C. K. Tinene, A. Ozawa, Y. Utsumi, S. Itabashi, T. Ohkubo, M. Shimada, “Fabrication of semitransparent multilayer polarizer and its application to soft x-ray ellipsometer,” in Ultraviolet and X-Ray Detection, Spectroscopy, and Polarimetry III, S. Fineshi, B. E. Woodgate, R. A. Kimble, eds., Proc. SPIE3764, 13–27 (1999).
[CrossRef]

Shine, R. A.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Shing, L.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunuad, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Leman, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Sol. Phys. 162, 219–312 (1995).
[CrossRef]

Song, X. Y.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunuad, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Leman, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Sol. Phys. 162, 219–312 (1995).
[CrossRef]

Spiller, E. A.

S. Bajt, J. B. Alameda, T. W. Barbee, W. M. Clift, J. A. Folta, B. Kaufmann, E. A. Spiller, “Improved reflectance and stability of Mo-Si multilayers,” Opt. Eng. 41, 1797–1804 (2002).
[CrossRef]

Spitzer, R. C.

Stearns, D. G.

D. G. Stearns, N. M. Ceglio, A. M. Hawryluk, M. B. Sterns, A. K. Petford-Long, C.-H. Chang, K. Danzmann, M. Khüe, P. Müller, B. Wende, “TEM and x-ray analysis of multilayer mirrors and beamsplitters,” in Multilayer Structures and Laboratory X-Ray Laser Research, N. M. Ceglio, P. Dhez, eds., Proc. SPIE688, 91–98 (1986).
[CrossRef]

Stern, R. A.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunuad, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Leman, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Sol. Phys. 162, 219–312 (1995).
[CrossRef]

Sterns, M. B.

D. G. Stearns, N. M. Ceglio, A. M. Hawryluk, M. B. Sterns, A. K. Petford-Long, C.-H. Chang, K. Danzmann, M. Khüe, P. Müller, B. Wende, “TEM and x-ray analysis of multilayer mirrors and beamsplitters,” in Multilayer Structures and Laboratory X-Ray Laser Research, N. M. Ceglio, P. Dhez, eds., Proc. SPIE688, 91–98 (1986).
[CrossRef]

Stolt, K. G.

Tarbell, T. D.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Tinene, M. C. K.

T. Haga, M. C. K. Tinene, A. Ozawa, Y. Utsumi, S. Itabashi, T. Ohkubo, M. Shimada, “Fabrication of semitransparent multilayer polarizer and its application to soft x-ray ellipsometer,” in Ultraviolet and X-Ray Detection, Spectroscopy, and Polarimetry III, S. Fineshi, B. E. Woodgate, R. A. Kimble, eds., Proc. SPIE3764, 13–27 (1999).
[CrossRef]

Title, A. M.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Torgerson, D. D.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Ulm, G.

D. G. Gaines, R. C. Spitzer, N. M. Ceglio, M. Krumrey, G. Ulm, “Radiation hardness of molybdenum and silicon multilayers designed for use in a soft x-ray projection lithography system,” Appl. Opt. 32, 6991–6998 (1993).
[CrossRef] [PubMed]

S. Oestreich, R. Klien, F. Scholze, J. Jonkers, E. Louis, A. Yakshin, P. Görts, G. Ulm, M. Haidl, F. Bijkerk, “Multilayer reflectance during exposure to EUV radiation,” in Soft X-Ray and EUV Imaging Systems, W. M. Kaiser, R. H. Stulen, eds., Proc. SPIE4146, 64–71 (2000).
[CrossRef]

Uspenskii, Yu. A.

Utsumi, Y.

T. Haga, M. C. K. Tinene, A. Ozawa, Y. Utsumi, S. Itabashi, T. Ohkubo, M. Shimada, “Fabrication of semitransparent multilayer polarizer and its application to soft x-ray ellipsometer,” in Ultraviolet and X-Ray Detection, Spectroscopy, and Polarimetry III, S. Fineshi, B. E. Woodgate, R. A. Kimble, eds., Proc. SPIE3764, 13–27 (1999).
[CrossRef]

Van Dessel, E. L.

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunuad, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Leman, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Sol. Phys. 162, 219–312 (1995).
[CrossRef]

Vest, R. E.

E. M. Gullikson, R. Korde, L. R. Canfield, R. E. Vest, “Stable silicon photodiodes for absolute intensity measurements in the VUV and soft x-ray regions,” J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 80, 313–316 (1996).
[CrossRef]

Vinogradov, A. V.

Walker, A. B. C.

S. Fineschi, R. B. Hoover, M. Zukic, J. Kim, A. B. C. Walker, P. C. Baker, “Polarimetry of the H I Lyman α line for coronal magnetic field diagnostics,” in Multilayer and Grazing Incidence X-Ray/EUV Optics for Astronomy and Projection Lithography, R. B. Hoover, A. B. C. Walker, eds., Proc. SPIE1742, 423–431 (1993).
[CrossRef]

Wende, B.

D. G. Stearns, N. M. Ceglio, A. M. Hawryluk, M. B. Sterns, A. K. Petford-Long, C.-H. Chang, K. Danzmann, M. Khüe, P. Müller, B. Wende, “TEM and x-ray analysis of multilayer mirrors and beamsplitters,” in Multilayer Structures and Laboratory X-Ray Laser Research, N. M. Ceglio, P. Dhez, eds., Proc. SPIE688, 91–98 (1986).
[CrossRef]

Wolfson, C. J.

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Yakshin, A.

S. Oestreich, R. Klien, F. Scholze, J. Jonkers, E. Louis, A. Yakshin, P. Görts, G. Ulm, M. Haidl, F. Bijkerk, “Multilayer reflectance during exposure to EUV radiation,” in Soft X-Ray and EUV Imaging Systems, W. M. Kaiser, R. H. Stulen, eds., Proc. SPIE4146, 64–71 (2000).
[CrossRef]

Yamamoto, M.

H. Nomura, K. Mayama, T. Sakai, M. Yamamoto, M. Yanagihara, “Design, fabrication, and polarization of soft x-ray transmission multilayers,” in International Symposium on Optical Fabrication, Testing, and Surface Evaluation, T. Jumpei, ed., Proc. SPIE1720, 395–401 (1992).
[CrossRef]

Yanagihara, M.

H. Nomura, K. Mayama, T. Sakai, M. Yamamoto, M. Yanagihara, “Design, fabrication, and polarization of soft x-ray transmission multilayers,” in International Symposium on Optical Fabrication, Testing, and Surface Evaluation, T. Jumpei, ed., Proc. SPIE1720, 395–401 (1992).
[CrossRef]

Zukic, M.

S. Fineschi, R. B. Hoover, M. Zukic, J. Kim, A. B. C. Walker, P. C. Baker, “Polarimetry of the H I Lyman α line for coronal magnetic field diagnostics,” in Multilayer and Grazing Incidence X-Ray/EUV Optics for Astronomy and Projection Lithography, R. B. Hoover, A. B. C. Walker, eds., Proc. SPIE1742, 423–431 (1993).
[CrossRef]

Appl. Opt.

J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom.

E. M. Gullikson, R. Korde, L. R. Canfield, R. E. Vest, “Stable silicon photodiodes for absolute intensity measurements in the VUV and soft x-ray regions,” J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 80, 313–316 (1996).
[CrossRef]

Opt. Eng.

S. Bajt, J. B. Alameda, T. W. Barbee, W. M. Clift, J. A. Folta, B. Kaufmann, E. A. Spiller, “Improved reflectance and stability of Mo-Si multilayers,” Opt. Eng. 41, 1797–1804 (2002).
[CrossRef]

Sol. Phys.

N. M. Firstova, J.-C. Hénoux, S. A. Kazantsev, A. V. Bulatov, “Spectroscopolarimetric sensing of energy deposition into the chromosphere during solar flares,” Sol. Phys. 171, 123–144 (1997).
[CrossRef]

J. P. Delaboudinière, G. E. Artzner, J. Brunuad, A. H. Gabriel, J. F. Hochdez, F. Millier, X. Y. Song, B. Au, K. P. Dere, R. A. Howard, R. Kreplin, D. J. Michels, J. D. Moses, J. M. Defise, C. Jamar, P. Rochus, J. P. Marioge, R. C. Catura, J. R. Leman, L. Shing, R. A. Stern, J. B. Gurman, W. M. Neupert, A. Maucherat, F. Clette, P. Cugnon, E. L. Van Dessel, “EIT: extreme-ultraviolet imaging telescope for the SOHO mission,” Sol. Phys. 162, 219–312 (1995).
[CrossRef]

B. N. Handy, L. W. Acton, C. C. Kankelborg, C. J. Wolfson, D. J. Akin, M. E. Bruner, R. Caravalho, R. C. Catura, R. Chevalier, D. W. Duncan, C. G. Edwards, C. N. Feinstein, S. L. Freeland, F. M. Friedlander, C. H. Hoffmann, N. E. Hurlburt, B. K. Jurcevich, N. L. Katz, G. A. Kelly, J. R. Lemen, M. Levay, R. W. Lindgren, D. P. Mathur, S. B. Meyer, S. J. Morrison, M. D. Morrison, R. W. Nightingale, T. P. Pope, R. A. Rehse, C. J. Schrijver, R. A. Shine, L. Shing, T. D. Tarbell, A. M. Title, D. D. Torgerson, L. Golub, J. A. Bookbinder, D. Caldwell, P. N. Cheimets, W. N. Davis, E. E. DeLuca, R. A. Mcmullen, D. Amato, R. Fisher, H. Maldonado, C. Pakinson, “The transition region and coronal explorer,” Sol. Phys. 187, 229–260 (1999).
[CrossRef]

Other

J. F. Seely, “Multilayer grating for extreme ultraviolet imaging spectrometer (EIS),” in X-Ray Optics, Instruments, and Missions IV, R. B. Hoover, A. B. C. Walker, eds., Proc. SPIE4138, 174–181 (2000).
[CrossRef]

D. G. Stearns, N. M. Ceglio, A. M. Hawryluk, M. B. Sterns, A. K. Petford-Long, C.-H. Chang, K. Danzmann, M. Khüe, P. Müller, B. Wende, “TEM and x-ray analysis of multilayer mirrors and beamsplitters,” in Multilayer Structures and Laboratory X-Ray Laser Research, N. M. Ceglio, P. Dhez, eds., Proc. SPIE688, 91–98 (1986).
[CrossRef]

H. Nomura, K. Mayama, T. Sakai, M. Yamamoto, M. Yanagihara, “Design, fabrication, and polarization of soft x-ray transmission multilayers,” in International Symposium on Optical Fabrication, Testing, and Surface Evaluation, T. Jumpei, ed., Proc. SPIE1720, 395–401 (1992).
[CrossRef]

T. Haga, M. C. K. Tinene, A. Ozawa, Y. Utsumi, S. Itabashi, T. Ohkubo, M. Shimada, “Fabrication of semitransparent multilayer polarizer and its application to soft x-ray ellipsometer,” in Ultraviolet and X-Ray Detection, Spectroscopy, and Polarimetry III, S. Fineshi, B. E. Woodgate, R. A. Kimble, eds., Proc. SPIE3764, 13–27 (1999).
[CrossRef]

S. Oestreich, R. Klien, F. Scholze, J. Jonkers, E. Louis, A. Yakshin, P. Görts, G. Ulm, M. Haidl, F. Bijkerk, “Multilayer reflectance during exposure to EUV radiation,” in Soft X-Ray and EUV Imaging Systems, W. M. Kaiser, R. H. Stulen, eds., Proc. SPIE4146, 64–71 (2000).
[CrossRef]

S. Fineschi, R. B. Hoover, M. Zukic, J. Kim, A. B. C. Walker, P. C. Baker, “Polarimetry of the H I Lyman α line for coronal magnetic field diagnostics,” in Multilayer and Grazing Incidence X-Ray/EUV Optics for Astronomy and Projection Lithography, R. B. Hoover, A. B. C. Walker, eds., Proc. SPIE1742, 423–431 (1993).
[CrossRef]

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (8)

Fig. 1
Fig. 1

Transmission electron microscopy cross-sectional image of a Mo/B4C/Si multilayer. Molybdenum has a higher atomic number (Z = 42) and therefore appears darker as it scatters more electrons than does silicon (Z = 14). The transition layers that are due to silicide formation and that are normally observed at interfaces of Mo/Si multilayer (especially at the Mo-on-Si interfaces, which are thicker than the Si-on-Mo interfaces) can no longer be observed after the deposition of thin B4C barrier layers at all Mo-on-Si interfaces.

Fig. 2
Fig. 2

Theoretical fits to the measured reflectances of the gold-coated mirror at an incident angle of 45° and in the wavelength region of 12–24 nm. The reflectometer is aligned vertically and horizontally for the measurements of R V and R H , respectively.

Fig. 3
Fig. 3

(a) Layout of the reflectometer setup at the National Synchrotron Light Source beamline X24C for primarily p-polarized incident radiation, with the rotational axis of the sample-detector aligned in the vertical direction and the electric field vector parallel to the plane of incidence. (b) Cylindrical vacuum chamber rotated 90° about the incident beam axis so that the incident radiation is primarily s-polarized with the electric field normal to the plane of incidence. The reflectance and transmittance measurement can be performed at near-grazing to near-normal incident angles with the sample-detector rotated in the θ–2θ configuration.

Fig. 4
Fig. 4

Theoretical fits to the measured s-polarized reflectances of the Mo/B4C/Si multilayer (after taking into account the polarization of the incident beam) at angles of 5°, 30°, and 45° from normal incidence.

Fig. 5
Fig. 5

Comparison of the measured s-polarized and p-polarized reflectances of the Mo/B4C/Si multilayer at incident angles of 5°, 30°, and 45°.

Fig. 6
Fig. 6

Comparison of the measured s-polarized and p-polarized transmittances of the Mo/B4C/Si multilayer at incident angles of 5°, 30°, and 45°.

Fig. 7
Fig. 7

Inferred values of the s-polarized and p-polarized absorptance based on the reflectances and transmittances of the Mo/B4C/Si multilayer at incident angles of 5°, 30°, and 45°.

Fig. 8
Fig. 8

Polarization performance of the Mo/B4C/Si multilayer through reflectance and transmittance measurements that are optimized at a 45° Brewster angle.

Equations (7)

Equations on this page are rendered with MathJax. Learn more.

α=IH-IV/IH+IV,
RV=RPIH+RSIV/IH+IV,
RH=RSIH+RPIV/IH+IV,
RP=RV1+α-RH1-α/2α,
RS=RH1+α-RV1-α/2α.
PR=RS-RP/RS+RP=RH-RV/αRH+RV.
PT= TS-TP/ TS+TP= TH-TV/αTH+TV.

Metrics