Abstract

The m-lines technique is used to measure the refractive indices and thicknesses of layers embedded in a multilayer stack. The multilayer considered is deposited by ion plating. Its formula is silica–4HL–4HL–6H–air, where H and L denote Ta2O5 and SiO2λ/4 layers, respectively, with λ = 514.5 nm. Measurements indicate that the refractive index of Ta2O5 is 5 × 10-3 greater when the layer is close to air than when the layer is inside the coating and that the Ta2O5 is slightly more birefringent.

© 1999 Optical Society of America

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Cited By

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Figures (7)

Fig. 1
Fig. 1

Schematic view of a prism–film mounting with the reference coordinate system. n p , n 0, n, and n s are, respectively, the refractive indices of the prism, the incident medium (air), the layer, and the substrate.

Fig. 2
Fig. 2

Normalized distribution of |E(x)|2 at λ = 514.5 nm for modes TE0 and TE3.

Fig. 3
Fig. 3

Normalized distribution of |E(x)|2 at λ = 514.5 nm for modes TE2 and TE3.

Fig. 4
Fig. 4

Normalized distribution of |E(x)|2 at λ = 514.5 nm for modes TE4 and TE5.

Fig. 5
Fig. 5

Normalized distribution of |E(x)|2 at λ = 514.5 nm for modes TM0 and TM3.

Fig. 6
Fig. 6

Normalized distribution of |E(x)|2 at λ = 514.5 nm for modes TM1 and TM2.

Fig. 7
Fig. 7

Normalized distribution of |E(x)|2 at λ = 514.5 nm for modes TM4 and TM5.

Tables (1)

Tables Icon

Table 1 Summary of Results Obtained at 514.5 nm for the Multilayer (Substrate–4HL–4HL–6H–Air)a

Equations (4)

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Nm=np sin θpm=n0 sin θm cos Ap+sin Apnp2-n02 sin2 θm1/2.
θm=arcsinnpn0 sinarcsinNmnp-Ap.
Fang= |θmes-θcalc|.
Fy=1MmYmcalc-YmexpYmexp,

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