Abstract

A 10-Hz Nd:YAG laser system with 0.6-J, 25-nsec pulses was used to produce plasmas which emitted strongly in the soft x-ray region. Spectral, temporal, and spatial characteristics of these plasma emissions are presented together with an application of the source to soft x-ray lithography.

© 1984 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. B. C. Fawcett, A. H. Gabriel, F. E. Irons, N. J. Peacock, P. A. H. Saunders, Proc. Phys. Soc. London 88, 1051 (1966).
    [CrossRef]
  2. A. W. Ehlers, G. L. Weissler, Appl. Phys. Lett. 8, 89 (1966).
    [CrossRef]
  3. C. Breton, R. Popoular, J. Opt. Soc. Am. 63, 1275 (1973).
    [CrossRef]
  4. P. J. Malozzi, H. M. Epstein, R. G. Jung, D. C. Applebaum, B. P. Fairand, W. J. Gallagher, in Fundamental and Applied Laser Physics, M. S. Fred, A. Javan, N. A. Kurnet, Eds. (Wiley-Interscience, New York, 1973), p. 165.
  5. D. J. Nagel, P. E. Burkhalter, C. M. Dozier, J. F. Holzrichter, B. M. Klein, J. M. McMahon, J. A. Stamper, R. R. Whitlock, Phys. Rev. Lett. 33, 743 (1974).
    [CrossRef]
  6. P. G. Burkhalter, D. J. Nagel, R. R. Whitlock, Phys. Rev. A 9, 2331 (1974).
    [CrossRef]
  7. C. G. Mahajan, E. A. M. Baker, D. D. Burgess, Opt. Lett. 4, 283 (1979).
    [CrossRef] [PubMed]
  8. P. K. Carroll, Extended Abstracts of the Fourth International Conference on Vacuum Ultraviolet Radiation Physics 3, 56 (1980).
  9. P. K. Carroll, G. O’Sullivan, Phys. Rev. A 25, 275 (1982).
    [CrossRef]
  10. G. O’Sullivan, P. K. Carroll, J. Opt. Soc. Am. 71, 227 (1981).
    [CrossRef]
  11. P. K. Carroll, E. T. Kennedy, G. O’Sullivan, Appl. Opt. 19, 1454 (1980).
    [CrossRef] [PubMed]
  12. P. K. Carroll, E. T. Kennedy, G. O’Sullivan, Opt. Lett. 2, 72 (1978).
    [CrossRef] [PubMed]
  13. P. K. Carroll, E. T. Kennedy, Phys. Rev. Lett. 38, 1068 (1977).
    [CrossRef]
  14. G. O’Sullivan, J. Roberts, W. Ott, J. Bridges, T. Pittman, M. L. Ginter, Opt. Lett. 7, 31 (1982).
    [CrossRef]
  15. G. O’Sullivan, P. K. Carroll, T. J. McIlrath, M. L. Ginter, Appl. Opt. 20, 3043 (1981).
    [CrossRef]
  16. P. Nicolasi, E. Jannitti, G. Tondello, Appl. Phys. B 26, 117 (1981).
    [CrossRef]
  17. R. M. Gilbert, J. P. Anthes, M. A. Guisnow, M. A. Polmer, R. R. Whitlock, D. J. Nagel, J. Appl. Phys. 51, 1449 (1980).
    [CrossRef]
  18. D. J. Nagel, R. R. Whitlock, J. R. Greig, R. E. Pechacek, M. C. Peckerar, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 135, 46 (1978).
  19. R. D. Bleach, D. J. Nagel, J. Appl. Phys. 49, 3832 (1978).
    [CrossRef]
  20. D. J. Nagel, M. C. Peckerar, R. R. Whitlock, J. R. Greig, R. E. Pechacek, Electron. Lett. 14, 781 (1978).
    [CrossRef]
  21. M. Kuhne, Appl. Opt. 21, 2124 (1982).
    [CrossRef] [PubMed]
  22. D. J. Nagel, C. M. Brown, M. C. Peckerar, M. L. Ginter, J. A. Robinson, T. J. McIlrath, P. K. Carroll, Memorandum Report 5201 (Naval Research Laboratory, Washington, D.C., 1983).
  23. The 1-m spectrograph is discussed in NRL Memorandum Report 4732 by R. D. Bleach, P. G. Burkhalter, and D. J. Nagel. The lighttight window on the slitless crystal (2d = 2.66-nm) spectrograph was 2-μm polypropylene coated with 0.2 μm of aluminum.
  24. R. K. Day, P. Lee, E. B. Saloman, D. J. Nagel, J. Appl. Phys. 52, 6965 (1981).
    [CrossRef]
  25. T. N. Lee, D. J. Nagel, J. Appl. Phys. 46, 3789 (1975).
    [CrossRef]
  26. E. Spiller, R. Feder, in X-Ray Optics, H. J. Queisser, Ed. (Springer, New York, 1978), pp. 35–92.

1982 (3)

1981 (4)

G. O’Sullivan, P. K. Carroll, T. J. McIlrath, M. L. Ginter, Appl. Opt. 20, 3043 (1981).
[CrossRef]

G. O’Sullivan, P. K. Carroll, J. Opt. Soc. Am. 71, 227 (1981).
[CrossRef]

R. K. Day, P. Lee, E. B. Saloman, D. J. Nagel, J. Appl. Phys. 52, 6965 (1981).
[CrossRef]

P. Nicolasi, E. Jannitti, G. Tondello, Appl. Phys. B 26, 117 (1981).
[CrossRef]

1980 (3)

R. M. Gilbert, J. P. Anthes, M. A. Guisnow, M. A. Polmer, R. R. Whitlock, D. J. Nagel, J. Appl. Phys. 51, 1449 (1980).
[CrossRef]

P. K. Carroll, Extended Abstracts of the Fourth International Conference on Vacuum Ultraviolet Radiation Physics 3, 56 (1980).

P. K. Carroll, E. T. Kennedy, G. O’Sullivan, Appl. Opt. 19, 1454 (1980).
[CrossRef] [PubMed]

1979 (1)

1978 (4)

P. K. Carroll, E. T. Kennedy, G. O’Sullivan, Opt. Lett. 2, 72 (1978).
[CrossRef] [PubMed]

D. J. Nagel, R. R. Whitlock, J. R. Greig, R. E. Pechacek, M. C. Peckerar, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 135, 46 (1978).

R. D. Bleach, D. J. Nagel, J. Appl. Phys. 49, 3832 (1978).
[CrossRef]

D. J. Nagel, M. C. Peckerar, R. R. Whitlock, J. R. Greig, R. E. Pechacek, Electron. Lett. 14, 781 (1978).
[CrossRef]

1977 (1)

P. K. Carroll, E. T. Kennedy, Phys. Rev. Lett. 38, 1068 (1977).
[CrossRef]

1975 (1)

T. N. Lee, D. J. Nagel, J. Appl. Phys. 46, 3789 (1975).
[CrossRef]

1974 (2)

D. J. Nagel, P. E. Burkhalter, C. M. Dozier, J. F. Holzrichter, B. M. Klein, J. M. McMahon, J. A. Stamper, R. R. Whitlock, Phys. Rev. Lett. 33, 743 (1974).
[CrossRef]

P. G. Burkhalter, D. J. Nagel, R. R. Whitlock, Phys. Rev. A 9, 2331 (1974).
[CrossRef]

1973 (1)

C. Breton, R. Popoular, J. Opt. Soc. Am. 63, 1275 (1973).
[CrossRef]

1966 (2)

B. C. Fawcett, A. H. Gabriel, F. E. Irons, N. J. Peacock, P. A. H. Saunders, Proc. Phys. Soc. London 88, 1051 (1966).
[CrossRef]

A. W. Ehlers, G. L. Weissler, Appl. Phys. Lett. 8, 89 (1966).
[CrossRef]

Anthes, J. P.

R. M. Gilbert, J. P. Anthes, M. A. Guisnow, M. A. Polmer, R. R. Whitlock, D. J. Nagel, J. Appl. Phys. 51, 1449 (1980).
[CrossRef]

Applebaum, D. C.

P. J. Malozzi, H. M. Epstein, R. G. Jung, D. C. Applebaum, B. P. Fairand, W. J. Gallagher, in Fundamental and Applied Laser Physics, M. S. Fred, A. Javan, N. A. Kurnet, Eds. (Wiley-Interscience, New York, 1973), p. 165.

Baker, E. A. M.

Bleach, R. D.

R. D. Bleach, D. J. Nagel, J. Appl. Phys. 49, 3832 (1978).
[CrossRef]

Breton, C.

C. Breton, R. Popoular, J. Opt. Soc. Am. 63, 1275 (1973).
[CrossRef]

Bridges, J.

Brown, C. M.

D. J. Nagel, C. M. Brown, M. C. Peckerar, M. L. Ginter, J. A. Robinson, T. J. McIlrath, P. K. Carroll, Memorandum Report 5201 (Naval Research Laboratory, Washington, D.C., 1983).

Burgess, D. D.

Burkhalter, P. E.

D. J. Nagel, P. E. Burkhalter, C. M. Dozier, J. F. Holzrichter, B. M. Klein, J. M. McMahon, J. A. Stamper, R. R. Whitlock, Phys. Rev. Lett. 33, 743 (1974).
[CrossRef]

Burkhalter, P. G.

P. G. Burkhalter, D. J. Nagel, R. R. Whitlock, Phys. Rev. A 9, 2331 (1974).
[CrossRef]

Carroll, P. K.

P. K. Carroll, G. O’Sullivan, Phys. Rev. A 25, 275 (1982).
[CrossRef]

G. O’Sullivan, P. K. Carroll, J. Opt. Soc. Am. 71, 227 (1981).
[CrossRef]

G. O’Sullivan, P. K. Carroll, T. J. McIlrath, M. L. Ginter, Appl. Opt. 20, 3043 (1981).
[CrossRef]

P. K. Carroll, Extended Abstracts of the Fourth International Conference on Vacuum Ultraviolet Radiation Physics 3, 56 (1980).

P. K. Carroll, E. T. Kennedy, G. O’Sullivan, Appl. Opt. 19, 1454 (1980).
[CrossRef] [PubMed]

P. K. Carroll, E. T. Kennedy, G. O’Sullivan, Opt. Lett. 2, 72 (1978).
[CrossRef] [PubMed]

P. K. Carroll, E. T. Kennedy, Phys. Rev. Lett. 38, 1068 (1977).
[CrossRef]

D. J. Nagel, C. M. Brown, M. C. Peckerar, M. L. Ginter, J. A. Robinson, T. J. McIlrath, P. K. Carroll, Memorandum Report 5201 (Naval Research Laboratory, Washington, D.C., 1983).

Day, R. K.

R. K. Day, P. Lee, E. B. Saloman, D. J. Nagel, J. Appl. Phys. 52, 6965 (1981).
[CrossRef]

Dozier, C. M.

D. J. Nagel, P. E. Burkhalter, C. M. Dozier, J. F. Holzrichter, B. M. Klein, J. M. McMahon, J. A. Stamper, R. R. Whitlock, Phys. Rev. Lett. 33, 743 (1974).
[CrossRef]

Ehlers, A. W.

A. W. Ehlers, G. L. Weissler, Appl. Phys. Lett. 8, 89 (1966).
[CrossRef]

Epstein, H. M.

P. J. Malozzi, H. M. Epstein, R. G. Jung, D. C. Applebaum, B. P. Fairand, W. J. Gallagher, in Fundamental and Applied Laser Physics, M. S. Fred, A. Javan, N. A. Kurnet, Eds. (Wiley-Interscience, New York, 1973), p. 165.

Fairand, B. P.

P. J. Malozzi, H. M. Epstein, R. G. Jung, D. C. Applebaum, B. P. Fairand, W. J. Gallagher, in Fundamental and Applied Laser Physics, M. S. Fred, A. Javan, N. A. Kurnet, Eds. (Wiley-Interscience, New York, 1973), p. 165.

Fawcett, B. C.

B. C. Fawcett, A. H. Gabriel, F. E. Irons, N. J. Peacock, P. A. H. Saunders, Proc. Phys. Soc. London 88, 1051 (1966).
[CrossRef]

Feder, R.

E. Spiller, R. Feder, in X-Ray Optics, H. J. Queisser, Ed. (Springer, New York, 1978), pp. 35–92.

Gabriel, A. H.

B. C. Fawcett, A. H. Gabriel, F. E. Irons, N. J. Peacock, P. A. H. Saunders, Proc. Phys. Soc. London 88, 1051 (1966).
[CrossRef]

Gallagher, W. J.

P. J. Malozzi, H. M. Epstein, R. G. Jung, D. C. Applebaum, B. P. Fairand, W. J. Gallagher, in Fundamental and Applied Laser Physics, M. S. Fred, A. Javan, N. A. Kurnet, Eds. (Wiley-Interscience, New York, 1973), p. 165.

Gilbert, R. M.

R. M. Gilbert, J. P. Anthes, M. A. Guisnow, M. A. Polmer, R. R. Whitlock, D. J. Nagel, J. Appl. Phys. 51, 1449 (1980).
[CrossRef]

Ginter, M. L.

G. O’Sullivan, J. Roberts, W. Ott, J. Bridges, T. Pittman, M. L. Ginter, Opt. Lett. 7, 31 (1982).
[CrossRef]

G. O’Sullivan, P. K. Carroll, T. J. McIlrath, M. L. Ginter, Appl. Opt. 20, 3043 (1981).
[CrossRef]

D. J. Nagel, C. M. Brown, M. C. Peckerar, M. L. Ginter, J. A. Robinson, T. J. McIlrath, P. K. Carroll, Memorandum Report 5201 (Naval Research Laboratory, Washington, D.C., 1983).

Greig, J. R.

D. J. Nagel, M. C. Peckerar, R. R. Whitlock, J. R. Greig, R. E. Pechacek, Electron. Lett. 14, 781 (1978).
[CrossRef]

D. J. Nagel, R. R. Whitlock, J. R. Greig, R. E. Pechacek, M. C. Peckerar, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 135, 46 (1978).

Guisnow, M. A.

R. M. Gilbert, J. P. Anthes, M. A. Guisnow, M. A. Polmer, R. R. Whitlock, D. J. Nagel, J. Appl. Phys. 51, 1449 (1980).
[CrossRef]

Holzrichter, J. F.

D. J. Nagel, P. E. Burkhalter, C. M. Dozier, J. F. Holzrichter, B. M. Klein, J. M. McMahon, J. A. Stamper, R. R. Whitlock, Phys. Rev. Lett. 33, 743 (1974).
[CrossRef]

Irons, F. E.

B. C. Fawcett, A. H. Gabriel, F. E. Irons, N. J. Peacock, P. A. H. Saunders, Proc. Phys. Soc. London 88, 1051 (1966).
[CrossRef]

Jannitti, E.

P. Nicolasi, E. Jannitti, G. Tondello, Appl. Phys. B 26, 117 (1981).
[CrossRef]

Jung, R. G.

P. J. Malozzi, H. M. Epstein, R. G. Jung, D. C. Applebaum, B. P. Fairand, W. J. Gallagher, in Fundamental and Applied Laser Physics, M. S. Fred, A. Javan, N. A. Kurnet, Eds. (Wiley-Interscience, New York, 1973), p. 165.

Kennedy, E. T.

Klein, B. M.

D. J. Nagel, P. E. Burkhalter, C. M. Dozier, J. F. Holzrichter, B. M. Klein, J. M. McMahon, J. A. Stamper, R. R. Whitlock, Phys. Rev. Lett. 33, 743 (1974).
[CrossRef]

Kuhne, M.

Lee, P.

R. K. Day, P. Lee, E. B. Saloman, D. J. Nagel, J. Appl. Phys. 52, 6965 (1981).
[CrossRef]

Lee, T. N.

T. N. Lee, D. J. Nagel, J. Appl. Phys. 46, 3789 (1975).
[CrossRef]

Mahajan, C. G.

Malozzi, P. J.

P. J. Malozzi, H. M. Epstein, R. G. Jung, D. C. Applebaum, B. P. Fairand, W. J. Gallagher, in Fundamental and Applied Laser Physics, M. S. Fred, A. Javan, N. A. Kurnet, Eds. (Wiley-Interscience, New York, 1973), p. 165.

McIlrath, T. J.

G. O’Sullivan, P. K. Carroll, T. J. McIlrath, M. L. Ginter, Appl. Opt. 20, 3043 (1981).
[CrossRef]

D. J. Nagel, C. M. Brown, M. C. Peckerar, M. L. Ginter, J. A. Robinson, T. J. McIlrath, P. K. Carroll, Memorandum Report 5201 (Naval Research Laboratory, Washington, D.C., 1983).

McMahon, J. M.

D. J. Nagel, P. E. Burkhalter, C. M. Dozier, J. F. Holzrichter, B. M. Klein, J. M. McMahon, J. A. Stamper, R. R. Whitlock, Phys. Rev. Lett. 33, 743 (1974).
[CrossRef]

Nagel, D. J.

R. K. Day, P. Lee, E. B. Saloman, D. J. Nagel, J. Appl. Phys. 52, 6965 (1981).
[CrossRef]

R. M. Gilbert, J. P. Anthes, M. A. Guisnow, M. A. Polmer, R. R. Whitlock, D. J. Nagel, J. Appl. Phys. 51, 1449 (1980).
[CrossRef]

D. J. Nagel, M. C. Peckerar, R. R. Whitlock, J. R. Greig, R. E. Pechacek, Electron. Lett. 14, 781 (1978).
[CrossRef]

D. J. Nagel, R. R. Whitlock, J. R. Greig, R. E. Pechacek, M. C. Peckerar, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 135, 46 (1978).

R. D. Bleach, D. J. Nagel, J. Appl. Phys. 49, 3832 (1978).
[CrossRef]

T. N. Lee, D. J. Nagel, J. Appl. Phys. 46, 3789 (1975).
[CrossRef]

P. G. Burkhalter, D. J. Nagel, R. R. Whitlock, Phys. Rev. A 9, 2331 (1974).
[CrossRef]

D. J. Nagel, P. E. Burkhalter, C. M. Dozier, J. F. Holzrichter, B. M. Klein, J. M. McMahon, J. A. Stamper, R. R. Whitlock, Phys. Rev. Lett. 33, 743 (1974).
[CrossRef]

D. J. Nagel, C. M. Brown, M. C. Peckerar, M. L. Ginter, J. A. Robinson, T. J. McIlrath, P. K. Carroll, Memorandum Report 5201 (Naval Research Laboratory, Washington, D.C., 1983).

Nicolasi, P.

P. Nicolasi, E. Jannitti, G. Tondello, Appl. Phys. B 26, 117 (1981).
[CrossRef]

O’Sullivan, G.

Ott, W.

Peacock, N. J.

B. C. Fawcett, A. H. Gabriel, F. E. Irons, N. J. Peacock, P. A. H. Saunders, Proc. Phys. Soc. London 88, 1051 (1966).
[CrossRef]

Pechacek, R. E.

D. J. Nagel, R. R. Whitlock, J. R. Greig, R. E. Pechacek, M. C. Peckerar, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 135, 46 (1978).

D. J. Nagel, M. C. Peckerar, R. R. Whitlock, J. R. Greig, R. E. Pechacek, Electron. Lett. 14, 781 (1978).
[CrossRef]

Peckerar, M. C.

D. J. Nagel, M. C. Peckerar, R. R. Whitlock, J. R. Greig, R. E. Pechacek, Electron. Lett. 14, 781 (1978).
[CrossRef]

D. J. Nagel, R. R. Whitlock, J. R. Greig, R. E. Pechacek, M. C. Peckerar, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 135, 46 (1978).

D. J. Nagel, C. M. Brown, M. C. Peckerar, M. L. Ginter, J. A. Robinson, T. J. McIlrath, P. K. Carroll, Memorandum Report 5201 (Naval Research Laboratory, Washington, D.C., 1983).

Pittman, T.

Polmer, M. A.

R. M. Gilbert, J. P. Anthes, M. A. Guisnow, M. A. Polmer, R. R. Whitlock, D. J. Nagel, J. Appl. Phys. 51, 1449 (1980).
[CrossRef]

Popoular, R.

C. Breton, R. Popoular, J. Opt. Soc. Am. 63, 1275 (1973).
[CrossRef]

Roberts, J.

Robinson, J. A.

D. J. Nagel, C. M. Brown, M. C. Peckerar, M. L. Ginter, J. A. Robinson, T. J. McIlrath, P. K. Carroll, Memorandum Report 5201 (Naval Research Laboratory, Washington, D.C., 1983).

Saloman, E. B.

R. K. Day, P. Lee, E. B. Saloman, D. J. Nagel, J. Appl. Phys. 52, 6965 (1981).
[CrossRef]

Saunders, P. A. H.

B. C. Fawcett, A. H. Gabriel, F. E. Irons, N. J. Peacock, P. A. H. Saunders, Proc. Phys. Soc. London 88, 1051 (1966).
[CrossRef]

Spiller, E.

E. Spiller, R. Feder, in X-Ray Optics, H. J. Queisser, Ed. (Springer, New York, 1978), pp. 35–92.

Stamper, J. A.

D. J. Nagel, P. E. Burkhalter, C. M. Dozier, J. F. Holzrichter, B. M. Klein, J. M. McMahon, J. A. Stamper, R. R. Whitlock, Phys. Rev. Lett. 33, 743 (1974).
[CrossRef]

Tondello, G.

P. Nicolasi, E. Jannitti, G. Tondello, Appl. Phys. B 26, 117 (1981).
[CrossRef]

Weissler, G. L.

A. W. Ehlers, G. L. Weissler, Appl. Phys. Lett. 8, 89 (1966).
[CrossRef]

Whitlock, R. R.

R. M. Gilbert, J. P. Anthes, M. A. Guisnow, M. A. Polmer, R. R. Whitlock, D. J. Nagel, J. Appl. Phys. 51, 1449 (1980).
[CrossRef]

D. J. Nagel, R. R. Whitlock, J. R. Greig, R. E. Pechacek, M. C. Peckerar, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 135, 46 (1978).

D. J. Nagel, M. C. Peckerar, R. R. Whitlock, J. R. Greig, R. E. Pechacek, Electron. Lett. 14, 781 (1978).
[CrossRef]

D. J. Nagel, P. E. Burkhalter, C. M. Dozier, J. F. Holzrichter, B. M. Klein, J. M. McMahon, J. A. Stamper, R. R. Whitlock, Phys. Rev. Lett. 33, 743 (1974).
[CrossRef]

P. G. Burkhalter, D. J. Nagel, R. R. Whitlock, Phys. Rev. A 9, 2331 (1974).
[CrossRef]

Appl. Opt. (3)

Appl. Phys. B (1)

P. Nicolasi, E. Jannitti, G. Tondello, Appl. Phys. B 26, 117 (1981).
[CrossRef]

Appl. Phys. Lett. (1)

A. W. Ehlers, G. L. Weissler, Appl. Phys. Lett. 8, 89 (1966).
[CrossRef]

Electron. Lett. (1)

D. J. Nagel, M. C. Peckerar, R. R. Whitlock, J. R. Greig, R. E. Pechacek, Electron. Lett. 14, 781 (1978).
[CrossRef]

Extended Abstracts of the Fourth International Conference on Vacuum Ultraviolet Radiation Physics (1)

P. K. Carroll, Extended Abstracts of the Fourth International Conference on Vacuum Ultraviolet Radiation Physics 3, 56 (1980).

J. Appl. Phys. (4)

R. M. Gilbert, J. P. Anthes, M. A. Guisnow, M. A. Polmer, R. R. Whitlock, D. J. Nagel, J. Appl. Phys. 51, 1449 (1980).
[CrossRef]

R. D. Bleach, D. J. Nagel, J. Appl. Phys. 49, 3832 (1978).
[CrossRef]

R. K. Day, P. Lee, E. B. Saloman, D. J. Nagel, J. Appl. Phys. 52, 6965 (1981).
[CrossRef]

T. N. Lee, D. J. Nagel, J. Appl. Phys. 46, 3789 (1975).
[CrossRef]

J. Opt. Soc. Am. (2)

C. Breton, R. Popoular, J. Opt. Soc. Am. 63, 1275 (1973).
[CrossRef]

G. O’Sullivan, P. K. Carroll, J. Opt. Soc. Am. 71, 227 (1981).
[CrossRef]

Opt. Lett. (3)

Phys. Rev. A (2)

P. G. Burkhalter, D. J. Nagel, R. R. Whitlock, Phys. Rev. A 9, 2331 (1974).
[CrossRef]

P. K. Carroll, G. O’Sullivan, Phys. Rev. A 25, 275 (1982).
[CrossRef]

Phys. Rev. Lett. (2)

D. J. Nagel, P. E. Burkhalter, C. M. Dozier, J. F. Holzrichter, B. M. Klein, J. M. McMahon, J. A. Stamper, R. R. Whitlock, Phys. Rev. Lett. 33, 743 (1974).
[CrossRef]

P. K. Carroll, E. T. Kennedy, Phys. Rev. Lett. 38, 1068 (1977).
[CrossRef]

Proc. Phys. Soc. London (1)

B. C. Fawcett, A. H. Gabriel, F. E. Irons, N. J. Peacock, P. A. H. Saunders, Proc. Phys. Soc. London 88, 1051 (1966).
[CrossRef]

Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. (1)

D. J. Nagel, R. R. Whitlock, J. R. Greig, R. E. Pechacek, M. C. Peckerar, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 135, 46 (1978).

Other (4)

P. J. Malozzi, H. M. Epstein, R. G. Jung, D. C. Applebaum, B. P. Fairand, W. J. Gallagher, in Fundamental and Applied Laser Physics, M. S. Fred, A. Javan, N. A. Kurnet, Eds. (Wiley-Interscience, New York, 1973), p. 165.

D. J. Nagel, C. M. Brown, M. C. Peckerar, M. L. Ginter, J. A. Robinson, T. J. McIlrath, P. K. Carroll, Memorandum Report 5201 (Naval Research Laboratory, Washington, D.C., 1983).

The 1-m spectrograph is discussed in NRL Memorandum Report 4732 by R. D. Bleach, P. G. Burkhalter, and D. J. Nagel. The lighttight window on the slitless crystal (2d = 2.66-nm) spectrograph was 2-μm polypropylene coated with 0.2 μm of aluminum.

E. Spiller, R. Feder, in X-Ray Optics, H. J. Queisser, Ed. (Springer, New York, 1978), pp. 35–92.

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (10)

Fig. 1
Fig. 1

Variation of x-ray diode signal (volts) with focusing lens to target distance for an aluminum target irradiated with 500 mJ/pulse at a 10-Hz pulse rate. A point represents the average of five output pulses with the error bar indicating one standard deviation.

Fig. 2
Fig. 2

Variation of x-ray diode signal (volts) with time for plasma pulses produced from a rotating aluminum target irradiated with 500 mJ/pulse at 10 Hz. Readings were taken of the output at 4.2-sec intervals (see text).

Fig. 3
Fig. 3

Variation of x-ray diode signal (volts) with time for plasma pulses produced from a stationary aluminum target. Irradiation and readings as described for Fig. 2. Points represent three run averages with one standard deviation error bars.

Fig. 4
Fig. 4

Pinhole photographs in XUV radiation from two targets irradiated from the top of the figure with (a) 10 pulses at 600 mJ/pulse, (b) 20 pulses at 300 mJ/pulse, and (c) 240 pulses at 25 mJ/pulse.

Fig. 5
Fig. 5

Typical spectra obtained from the plasma source using a 1-m grazing incidence spectrograph. The target elements appear at the left of each spectrum and the higher orders (x order number) of several ion stages (Roman numerals) are indicated below the spectra for C, Al, and Fe (from steel).

Fig. 6
Fig. 6

Densitometer trace of the Ne-like iron spectrum obtained from the plasma source (steel target) using a crystal spectrograph.

Fig. 7
Fig. 7

Dependence of soft x-ray output on laser pulse energy and target material for 10-Hz pulse rates. Data points (shown for C, Yb, Fe, and U only) are averages of five or more pulses while error bars represent one standard deviation.

Fig. 8
Fig. 8

Scanning electron micrographs of craters in aluminum produced at 1-, 5-, and 10-Hz main pulse repetition rates (see text). The right-hand panels are 5× enlargements.

Fig. 9
Fig. 9

Relative positions (top) of the target and the plastic ablation product catcher in the photograph (bottom) which shows interference fringes produced by a thin film of ytterbium (see text).

Fig. 10
Fig. 10

Photomicrograph of a replica in photoresist of the gate level mask for a large-scale dynamic shift register made using soft x rays from the source operating at 10 Hz.

Metrics